一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统技术方案

本实用新型专利技术属于三氯氢硅尾气回收领域，具体涉及一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统。本实用新型专利技术一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统包括：PSA系统、原料气管路、氢气管路、浓缩气管路、处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器；处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接；原料气管路、氢气管路和浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。本实用新型专利技术提升了三氯氢硅尾气回收的自动化程度，减少了人员的现场操作，并且通过本实用新型专利技术可以提高三氯氢硅制氢的效率，降低物料的损耗。低物料的损耗。低物料的损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统


[0001]本技术属于三氯氢硅尾气回收领域，具体涉及一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统。

技术介绍

[0002]在多晶硅行业生产工艺中，三氯氢硅是一种重要的化工原料,而三氯氢硅的生产过程，所产生尾气的综合治理成为三氯氢硅生产是否环保节能的标志。
[0003]在三氯氢硅或多晶硅生产过程中，大量含有各种氯硅烷和氯化氢的气体需要排放。由于氯硅烷及氯化氢的特殊性质，需投入大量资金进行尾气的处理，同时也造成生产过程中三氯氢硅收率降低。
[0004]只有既环保又节能的处理好生产过程中的三氯氢硅尾气,才真正能够做到节约生产,清洁生产。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的问题是：提供一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统。
[0006]本技术的技术方案是：一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统，包括：PSA系统、原料气管路、氢气管路、浓缩气管路、处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器；处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接；原料气管路、氢气管路和浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。
[0007]进一步的是，本技术还包括真空泵、缓冲罐和压缩机；真空泵、缓冲罐和压缩机依次设置在浓缩气管路上。
[0008]进一步的是，本技术还包括在线分析仪，在线分析仪分别设置在氢气管路和浓缩气管路上。
[0009]进一步的是，本技术的电控阀型号为：TMF58
‑
50HB；流量传感器型号LZB
‑
100；压力传感器型号为：PT124B
‑
210。
[0010]进一步的是，本技术的真空泵型号为：2X
‑
15A，压缩机型号为：QD142Y。
[0011]进一步的是，本技术的在线分析仪的型号为MHY
‑
16162。
[0012]本技术的有益效果是：本技术提升了三氯氢硅尾气回收的自动化程度，减少了人员的现场操作，并且通过本技术可以提高三氯氢硅制氢的效率，降低物料的损耗。
附图说明
[0013]图1为本技术一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统的流程框图。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术做进一步的说明。
[0015]如图所示本技术一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统包括：PSA系统、原料气管路、氢气管路、浓缩气管路、处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器；处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接；原料气管路、氢气管路和浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。
[0016]本技术在使用时，三氯氢硅尾气通过原料气管路进入PSA系统，经过PSA系统后分为氢气和浓缩气输出给用户。本技术的流量传感器、压力传感器实时监测PSA系统的运行参数，并将这些运行参数实时传递给处理器，处理器通过分析计算这些信息；分别控制位于原料气管路、氢气管路和浓缩气管路上的电控阀，通过控制电控阀的开合程度从而优化PSA系统的运行，从而实现对PSA系统的负荷自动控制，PSA系统吸附时间优化，PSA系统的自动开停车。同时处理器还可以根据压力传感器、流量传感器的异常参数，识别PSA系统的异常状态，并对该异常状态进行自动处理，处理方法为自动开停车或控制电控阀开合程度。
[0017]需要指出的是，本技术还可以包括真空泵、缓冲罐和压缩机；真空泵、缓冲罐和压缩机依次设置在浓缩气管路上。通过真空泵、缓冲罐和压缩机可以使浓缩气获得更好的浓缩程度，并且缓冲罐起到缓冲作用，可以更好的平衡压缩气和PSA系统内气体的压强差。
[0018]并且，本技术还可以包括在线分析仪，在线分析仪分别设置在氢气管路和浓缩气管路上。在线分析仪可以实时监测氢气管路内和浓缩气管路内的气体成分，并将信息发送给处理器，处理器对在线分析仪的数据进行实时的分析，并通过实时分析的结果控制电控阀的开合程度从而对PSA系统进行优化，使其处于高效合理的运行状态，并且还可以提升氢气、浓缩气的质量。
[0019]作为优选的，本技术的电控阀型号为：TMF58
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50HB；流量传感器型号LZB
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100；压力传感器型号为：PT124B
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210。该型号的电控阀、流量传感器和压力传感器可靠性高，能够提升本技术的可靠性和寿命。
[0020]需要指出的是，本技术的真空泵型号为：2X
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15A，压缩机型号为：QD142Y。该型号的真空泵和压缩机工作效率高，节约能源，可以提升本技术的绿色环保能力。
[0021]需要注意的是，本技术的在线分析仪的型号为MHY
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16162。该型号的在线分析仪采集率高，工作状态稳定，准确率，识别率高，可以提升本技术的工作效率，准确率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统，包括PSA系统、原料气管路、氢气管路和浓缩气管路；其特征在于，包括：处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器；处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接；所述原料气管路、所述氢气管路和所述浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。2.如权利要求1所述的一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统，其特征在于，还包括真空泵、缓冲罐和压缩机；真空泵、缓冲罐和压缩机依次设置在浓缩气管路上。3.如权利要求1或2所述的一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统，其特征在于，还包括在线分析仪，在线分析仪分别设置在氢气管路和浓缩气管路上。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：詹家聪，汪兰海，钟雨明，陈运，牟树荣，
申请(专利权)人：四川天采科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：