一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，包括：基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。本发明专利技术提供的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，基于阵列的半导体金属氧化物气敏材料多个点位对六氟化硫分解产物进行检测，然后分析每个点以及多点结合等方式组合分析，最终生成检测结果。本发明专利技术具有操作简单、成本小、操作简单，检测过程稳定的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器


[0001]本专利技术涉及六氟化硫分解产物检测
，尤其涉及一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器。

技术介绍

[0002]在输配电体系中，气体绝缘组合电器凭借着自身体积小、占地面积小、不受外界环境影响、运行安全可靠、维护简单以及检修周期长等诸多优点在输配电网中广泛应用。其中，六氟化硫也凭借着高耐电强度和良好的理化特性在其中起着决定性作用。由于某些不可避免的缺陷(制造过程中电极表面毛刺、导电微粒、绝缘子表面缺陷等)亦或者气体绝缘组合电器安装偏差等引起接触不良，仍会引起不同程度的局部放电，导致电阻急剧变大，温度过高，从而造成局部过热性故障等，这都会导致六氟化硫发生分解。六氟化硫发生分解一般生成SF4、SF3、SF2等多种低氟硫化物，但这些低氟硫化物极不稳定，在纯净的六氟化硫气体中，温度降低时他们又会迅速还原为六氟化硫气体。但实际运行的气体绝缘组合电器设备中总存在一些诸如水分、空气等杂质，这些低氟硫化物就会进一步与这些微量水分、氧气发生反应生成SOF4、SOF2、SO2F2、SO2、HF等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，包括：基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。2.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述气敏单元包括：测温电极、测量电极、加热电极及气敏膜；所述测温电极、测量电极、加热电极两两之间存在间隔；所述气敏膜覆盖在所述测量电极上，且不与所述测温电极、所述加热电极接触。3.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述测温电极的材料为铂。4.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述加热电极的材料为铂。5.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丽，唐念，张曼君，黎晓淀，孙东伟，陈锦攀，
申请(专利权)人：广东电网有限责任公司电力科学研究院，
类型：发明
国别省市：