一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜制造技术

本发明专利技术涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。足正弦条件。足正弦条件。

【技术实现步骤摘要】
一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜


[0001]本专利技术涉及一种傅里叶变换物镜，尤其是一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜。

技术介绍

[0002]光学投影光刻是利用光学投影成像的原理，将掩膜上的集成电路(IC)图形以分步重复或步进扫描曝光的方式将高分辨率的图形转移到涂胶硅片上。随着IC集成度的不断提高，需要转移的图形线条尺寸也越来越细，这就对光刻性能提出了越来越高的要求。为掩膜面提供均匀照明是光刻照明系统的主要功能，根据光刻机实际工作时不同的曝光要求，需要光刻照明系统提供不同形状，不同大小相干因子的照明光瞳，从而降低光刻工艺因子，提高整个光刻系统的分辨率，而不同形状及相干因子的照明方式，则需要通过衍射光学元件(DOE)来实现。
[0003]一般的，光刻系统中衍射光学元件的性能测量系统主要由被测衍射光学元件、傅里叶变换物镜、探测器等组成。傅里叶变换物镜的功能是将通过衍射光学元件的照明光束的角度分布转换为空间分布，即在傅里叶变换物镜的像面获得照明光束的光瞳，使用位于傅里叶变换物镜后焦面处的探测器将该照明光瞳形状和能量分布记录下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其特征在于：所述傅里叶变换物镜沿其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、中间像面、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、后焦面，其中孔径光阑位置用于放置被测衍射光学元件，第一透镜(L1)具有正光焦度，第二透镜(L2)具有负光焦度，第一透镜(L1)和第二透镜(L2)构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、至第六透镜(L6)具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路。2.根据权利要求1所述的一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其特征在于：所述孔径光阑用于放置被测衍射光学元件。3.根据权利要求1所述的一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其特征在于：所述孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面。4.根据权利要求1所述的一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：何毅，廖志杰，刘卫静，付韬韬，蕾茸粮，
申请(专利权)人：成都同力精密光电仪器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：