一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术属于微纳米尺度的柔性电子器件技术领域，具体涉及一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法。所述管状单晶钙钛矿氧化物薄膜具有三维管状结构；所述三维管状结构通过衬底、柔性有机物支撑层和粘附在柔性有机物支撑层表面的管状钙钛矿氧化物薄膜组成。本发明专利技术选用水蒸气让钙钛矿结构的水溶性牺牲层缓慢溶解，实现薄膜出现微纳米裂纹。在显微镜中观察氧化物薄膜裂纹形成至整个薄膜，这利于后面管状结构的形成和控制。本发明专利技术通过改变单晶钙钛矿氧化物薄膜的厚度、单晶钙钛矿氧化物异质结构的组成结构、单晶钙钛矿氧化物异质结构的层数（从单层到多层）及单晶衬底种类，能够实现控制自支撑单晶钙钛矿氧化物薄膜的管状结构及直径。管状结构及直径。管状结构及直径。

【技术实现步骤摘要】
一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法


[0001]本专利技术属于微纳米尺度的柔性电子器件
，具体涉及一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着微机电系统（MEMS）及可穿戴技术的快速发展，柔性功能材料已广泛应用在小型化、功能化、可弯曲等微电子器件中，并成为了材料科学以及物理领域的研究热点。通常，柔性功能薄膜材料可以改变其三维微纳米结构，以满足器件结构的特殊需求。其中，管状柔性功能薄膜的情况较为复杂，可以大范围的改变其应变状态、大小以及梯度，从而调控和增强柔性薄膜的物理性能。
[0003]钙钛矿氧化物具有高电子极化率（源于过渡金属
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氧键的化学性质）和强电子关联性（源于过渡金属局域且相互作用的d电子）的理想结合，导致了电子、自旋、晶格和轨道之间的强耦合作用，从而在钙钛矿氧化物结构中产生了各种物理特性，如：高温超导、金属
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绝缘体转变、巨磁阻效应、（反）铁磁性、（反）铁电性以及多铁性等。获取管状单晶钙钛矿氧化物薄膜的关键在于实现薄膜与衬底分离，通常本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜，其特征在于，所述单晶钙钛矿氧化物薄膜具有三维管状结构；所述三维管状结构通过衬底、柔性有机物支撑层和粘附在柔性有机物支撑层表面的管状钙钛矿氧化物薄膜组成；所述管状结构的直径控制范围为1 μm
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100 μm。2.一种如权利要求1所述的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）利用脉冲激光沉积技术在单晶衬底上，先沉积一层水溶性的牺牲层、再沉积单晶钙钛矿氧化物薄膜，得到单晶衬底/牺牲层/单晶氧化物薄膜结构；（2）将柔性有机物支撑层粘附在刚性构件上，再将单晶衬底/牺牲层/单晶钙钛矿氧化物薄膜结构粘附在有机物支撑层上；（3）将整个样品浸泡在去离子水中，待反应完全后，柔性单晶钙钛矿氧化物薄膜转移到至柔性有机支撑层上，单晶钙钛矿氧化物薄膜在剥离过程中发生卷曲，形成三维管状...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琪翔，何斌，吕伟明，石超群，张昌文，颜世申，
申请(专利权)人：济南大学，
类型：发明
国别省市：