【技术实现步骤摘要】
一种胖瘦条纹结构及其制备方法
[0001]本专利技术涉及微纳加工
,具体涉及一种胖瘦条纹结构及其制备方法。
技术介绍
[0002]微纳结构在材料的性能调控方面有着重要应用,如较高的表面化学活性、气体吸附优势和小尺寸,因此需要制备具有更密集,高精度的细微结构。传统的机械加工已经不能满足现代化、微型化生产的需要。激光精密加工技术与传统的加工技术相比较显示了许多独特的优越性,在加工材料时不仅提高加工效率,节省大量材料,提高产品质量,而且在设计方案上更新,工艺流程改进,从而赋予产品更高的附加值。现在已经在金属、半导体、透明材料、聚合物等表面利用飞秒激光诱导周期纳米条纹、网格、颗粒阵列等结构,这结构在材料表面性能调控方面的应用有超疏水表面、超亲水表面、吸收与发光增强、金属表面着色、亚波长增透等。
[0003]现有的微纳结构加工方法有,电解加工、电火花加工、等离子弧刻蚀、机械刻划、化学刻蚀,光刻技术等这些
比较成熟,但操作繁琐,工艺流程相对复杂。有些只能对特定的材料,有些对材料加工精度和质量有影响,甚至有些技术还需借 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种胖瘦条纹结构,其特征在于,包括:在金膜表面分布有竖直条纹和与水平方向呈预设夹角的等间距斜条纹相嵌套的胖瘦条纹结构。2.根据权利要求1所述的胖瘦条纹结构,其特征在于,包括:竖直方向分布间距为50μm的周期结构条纹,在与水平方向呈18
°
的方向上分布有另一周期的明暗相间的斜条纹,斜条纹的周期为194μm,竖直方向的周期结构条纹和与水平方向呈18
°
的方向上的斜条纹嵌套形成“胖瘦条纹”。3.一种胖瘦条纹结构的制备方法,其特征在于,包括:在金膜样品的金膜上表面覆盖玻片,将金膜样品放置在移动平台,飞秒激光微加工系统输出的飞秒脉冲激光聚焦到金膜样品,控制移动平台在X
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Y
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Z轴三个方向移动,进行二维移动线扫描,在金膜上制备微纳周期结构,即“胖瘦条纹”...
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