本公开提供一种石英舟镀硅膜装置，其包括保持机构、运动机构、三芯喷嘴、硅烷混合气气源、氧气源、氩气源以及机架；保持机构用于保持以石英舟自身的长度方向并排排布的多个石英舟；三芯喷嘴设置于运动机构，以在运动机构的驱动下沿多个石英舟并排的方向运动；三芯喷嘴在端口处设置有内通道、中间通道和外通道，内通道、中间通道以及外通道依此嵌套并彼此间隔开，内通道连通于硅烷混合气气源，中间通道连通于氩气源，外通道连接于氧气源；三芯喷嘴的端口设置成面向保持机构且配置成面向石英舟的内腔，外通道的直径配置成大于各石英舟的内腔的宽度；机架支撑保持机构、运动机构和三芯喷嘴。由此提高镀硅膜的效率。由此提高镀硅膜的效率。由此提高镀硅膜的效率。
【技术实现步骤摘要】
石英舟镀硅膜装置
[0001]本公开涉及石英舟领域，尤其涉及一种石英舟镀硅膜装置。
技术介绍
[0002]在一些石英舟中，石英舟镀碳膜。但是在制备超高纯锗单晶区熔过程中只能创造出贫氧条件，使铝正常分凝，而不能与硼、铝等杂质形成络合物，使杂质被分凝出去，而无法得到纯度更高的超高纯锗单晶。业界已开发镀硅膜，但不能够一遍镀好一个舟，且仅是镀完一个石英舟之后再镀下一个石英舟，镀硅膜的效率低。
技术实现思路
[0003]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种石英舟镀硅膜装置，其能提高镀硅膜的效率。
[0004]由此，在一些实施例中，一种石英舟镀硅膜装置包括保持机构、运动机构、三芯喷嘴、硅烷混合气气源、氧气源、氩气源以及机架；保持机构用于保持以石英舟自身的长度方向并排排布的多个石英舟；三芯喷嘴设置于运动机构，以在运动机构的驱动下沿多个石英舟并排的方向运动；三芯喷嘴在端口处设置有内通道、中间通道和外通道，内通道、中间通道以及外通道依此嵌套并彼此间隔开，内通道连通于硅烷混合气气源，中间通道连通于氩气源，外通道连接于氧气源；三芯喷嘴的端口设置成面向保持机构且配置成面向石英舟的内腔，外通道的直径配置成大于各石英舟的内腔的宽度；机架支撑保持机构、运动机构和三芯喷嘴。
[0005]在一些实施例中，保持机构、三芯喷嘴、运动机构沿竖直方向布置，保持机构位于运动机构的上方，保持机构用于沿水平方向保持以长度方向并排排布的多个石英舟，运动机构驱动三芯喷嘴沿水平方向运动；三芯喷嘴的端口向上面向保持机构。
[0006]在一些实施例中，保持机构、三芯喷嘴、运动机构沿竖直方向布置，保持机构位于运动机构的下方，保持机构用于沿水平方向保持以长度方向并排排布的多个石英舟，运动机构驱动三芯喷嘴沿水平方向运动；三芯喷嘴的端口向下面向保持机构。
[0007]在一些实施例中，保持机构、三芯喷嘴、运动机构沿水平方向布置，保持机构位于机架的水平方向的一端，保持机构用于沿竖直方向保持以长度方向并排排布的多个石英舟，运动机构驱动三芯喷嘴沿竖直方向运动。
[0008]在一些实施例中，保持机构、三芯喷嘴、运动机构沿第一水平方向布置，第一水平方向垂直于竖直方向；保持机构位于机架的第一水平方向的一端，保持机构用于沿第二水平方向保持以长度方向并排排布的多个石英舟，第二水平方向垂直于第一水平方向，运动机构驱动三芯喷嘴沿第二水平方向运动。
[0009]在一些实施例中，石英舟镀硅膜装置还包括固定机构，固定机构穿过保持机构且能够在保持机构与三芯喷嘴相对的方向上运动，固定机构用于将并排的多个石英舟压紧在保持机构上。
[0010]在一些实施例中，保持机构具有多个收容凹部，各收容凹部具有相对的两台阶部和面向三芯喷嘴的开口部，各收容凹部的两台阶部用于分别支撑石英舟的头部的头部上壁面和尾部的尾部上壁面，各收容凹部的开口部用于使石英舟的内腔露出。
[0011]在一些实施例中，保持机构具有多个限位凹部，各限位凹部用于收容对应一个内腔的开口朝向三芯喷嘴的石英舟。
[0012]在一些实施例中，石英舟镀硅膜装置还包括多个轮子，多个轮子安装在机架的底部。
[0013]在一些实施例中，石英舟镀硅膜装置还包括设置于机架的控制盒和电箱。
[0014]本公开的有益效果如下：在镀硅膜过程中，多个石英舟以石英舟自身的长度方向并排排布并由保持机构保持，外通道的直径配置成大于各石英舟的内腔的宽度，三芯喷嘴在运动机构的驱动下沿多个石英舟并排的方向运动，仅需要三芯喷嘴单方向运动一次就能够完成多个石英舟的镀硅膜，由此提高了效率。
附图说明
[0015]图1是根据本公开的第一实施例的石英舟镀硅膜装置的正视平面示意图。
[0016]图2是图1的安装有石英舟的正视平面示意图。
[0017]图3是根据本公开的第二实施例的石英舟镀硅膜装置的正视平面示意图。
[0018]图4是根据本公开的第三实施例的石英舟镀硅膜装置的正视平面示意图。
[0019]图5是根据本公开的第四实施例的石英舟镀硅膜装置的俯视平面示意图。
[0020]图6是根据本公开的第五实施例的石英舟镀硅膜装置的俯视平面示意图。
[0021]图7是根据本公开的石英舟镀硅膜装置的三芯喷嘴的一实施例的平面示意图。
[0022]图8是根据一实施例的石英舟的立体图。
[0023]其中，附图标记说明如下：
[0024]100石英舟镀硅膜装置
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8固定机构
[0025]1保持机构
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9轮子
[0026]11收容凹部
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10A控制盒
[0027]111台阶部
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10B电箱
[0028]112开口部
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H水平方向
[0029]12限位凹部
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V竖直方向
[0030]2运动机构
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H1第一水平方向
[0031]3三芯喷嘴
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H2第二水平方向
[0032]31内通道
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200石英舟
[0033]32中间通道
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L长度方向
[0034]33外通道
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200a内腔
[0035]4硅烷混合气气源
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200b头部
[0036]5氧气源
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200c头部上壁面
[0037]6氩气源
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200d尾部
[0038]7机架
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200e尾部上壁面
具体实施方式
[0039]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
[0040]在一些实施例中，参照图1至图8，石英舟镀硅膜装置100包括保持机构1、运动机构2、三芯喷嘴3、硅烷混合气气源4、氧气源5、氩气源6以及机架7。
[0041]保持机构1用于保持以石英舟200自身的长度方向L并排排布的多个石英舟200。三芯喷嘴3设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英舟镀硅膜装置(100)，其特征在于，包括保持机构(1)、运动机构(2)、三芯喷嘴(3)、硅烷混合气气源(4)、氧气源(5)、氩气源(6)以及机架(7)；保持机构(1)用于保持以石英舟(200)自身的长度方向(L)并排排布的多个石英舟(200)；三芯喷嘴(3)设置于运动机构(2)，以在运动机构(2)的驱动下沿多个石英舟(200)并排的方向运动；三芯喷嘴(3)在端口处设置有内通道(31)、中间通道(32)和外通道(33)，内通道(31)、中间通道(32)以及外通道(33)依此嵌套并彼此间隔开，内通道(31)连通于硅烷混合气气源(4)，中间通道(32)连通于氩气源(6)，外通道(33)连接于氧气源(5)；三芯喷嘴(3)的端口设置成面向保持机构(1)且配置成面向石英舟(200)的内腔(200a)，外通道(33)的直径配置成大于各石英舟(200)的内腔(200a)的宽度；机架(7)支撑保持机构(1)、运动机构(2)和三芯喷嘴(3)。2.根据权利要求1所述的石英舟镀硅膜装置(100)，其特征在于，保持机构(1)、三芯喷嘴(3)、运动机构(2)沿竖直方向(V)布置，保持机构(1)位于运动机构(2)的上方，保持机构(1)用于沿水平方向(H)保持以长度方向(L)并排排布的多个石英舟(200)，运动机构(2)驱动三芯喷嘴(3)沿水平方向(H)运动；三芯喷嘴(3)的端口向上面向保持机构(1)。3.根据权利要求1所述的石英舟镀硅膜装置(100)，其特征在于，保持机构(1)、三芯喷嘴(3)、运动机构(2)沿竖直方向(V)布置，保持机构(1)位于运动机构(2)的下方，保持机构(1)用于沿水平方向(H)保持以长度方向(L)并排排布的多个石英舟(200)，运动机构(2)驱动三芯喷嘴(3)沿水平方向(H)运动；三芯喷嘴(3)的端口向下面向保持机构(1)。4.根据权利要求1所述的石英舟镀硅膜装置(100)，其特征在于，保持机构(1)、三芯喷嘴(3)、运动机构(2)沿水平方向(H)布置，保持机构(1)位于机架(7)的水平方向(H)的一端，保持机构(1)用于沿竖直方向(V)...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾小英，赵青松，狄聚青，牛晓东，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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