一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵制造技术

本发明专利技术公开了一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵，包括压缩机和冷阱管路，压缩机出口端连接有油分离器，油分离器油出口端上连接有回油管路，回油管路另一端连接压缩机进口端；油分离器气出口端通过一三通电磁阀连接有加热管路和制冷管路；加热管路另一端连接冷阱管路进口端并通过冷阱管路出口端连接压缩机进口端；制冷管路另一端依次经过水冷冷凝器、干燥器和五级制冷组件后连接冷阱管路进口端并通过冷阱管路出口端连接压缩机进口端；本技术方案的一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵，过对管路进行改进，提高换热器换热制冷效率，获得超低温冷媒，通过油气分离组件结构的改进，提高油分离器油气分离率。提高油分离器油气分离率。提高油分离器油气分离率。

【技术实现步骤摘要】
一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵


[0001]本专利技术属于超低温水汽捕集
，更具体的说涉及一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵。

技术介绍

[0002]在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80％以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，为解决这一问题，现有技术中提出了超低温捕集泵。
[0003]超低温捕集泵的工作原理是将一个低温的制冷盘管放置在真空室中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并获得洁净的真空环境，为实验提供条件，被广泛应用于航天领域外太空真空低温环境模拟试验、高真空度镀膜、深低温环境营造等，适用于真空镀膜、科研院所、军事航空及生物制药等行业。
[0004]超低温水汽捕集泵通常由压缩机和若干换热元件等器件组成，现有技术中，为获得超低温，换热元件及其管路复杂，且冷媒经过多个换热元件换热后往往难以达到预期或理想的低温，换热组件换热率低，严重影响超低温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单级压缩混合工质的超低温捕集泵，包括压缩机和置于真空区内的冷阱管路，其特征在于，压缩机的出口端连接有油分离器，油分离器的油出口端上连接有回油管路，回油管路的另一端连接压缩机的进口端；油分离器的气出口端通过一三通电磁阀连接有加热管路和制冷管路；加热管路的另一端连接冷阱管路的进口端并通过冷阱管路的出口端连接压缩机的进口端；制冷管路的另一端依次经过水冷冷凝器、干燥器和五级制冷组件后连接冷阱管路的进口端并通过冷阱管路的出口端连接压缩机的进口端；五级制冷组件包括与干燥器的出口端连接的一级换热器和依次设置在一级换热器后部的二级换热器、三级换热器、四级换热器和五级换热器；一级换热器的热端入口与干燥器的出口端连接；一级换热器的热端出口上连接有一级气液分离器，一级气液分离器的气出口端与二级换热器的热端入口连接，一级气液分离器的液出口端与三级换热器的热端入口连接；二级换热器的热端出口上连接有二级气液分离器，二级气液分离器的气出口端与三级换热器的热端入口连接，二级气液分离器的液出口端与四级换热器的热端入口连接；三级换热器的热端出口上连接有三级气液分离器，三级气液分离器的气出口端与四级换热器的热端入口连接，三级气液分离器的液出口端与五级换热器的热端入口连接；五级换热器的热端出口连接有一三通控制阀，三通控制阀的一出口连接冷阱管路的进口端，三通控制阀的另一出口上连接有循环回路，循环回路的另一端连接五级换热器的冷端入口，并通过五级换热器的冷端出口连接四级换热器的冷端入口，然后通过四级换热器的冷端出口连接三级换热器的冷端入口，再通过三级换热器的冷端出口连接二级换热器的冷端入口，再...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍峰，龙俊慨，唐黎明，
申请(专利权)人：合肥新汇低温科技有限公司，
类型：发明
国别省市：