一种冷泵及冷泵系统技术方案

本申请公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能够方便冷泵的移动和工作，提高了整体作业效率。提高了整体作业效率。提高了整体作业效率。

【技术实现步骤摘要】
一种冷泵及冷泵系统


[0001]本申请涉及半导体制作领域，具体而言，涉及一种冷泵及冷泵系统。

技术介绍

[0002]目前在芯片制造工艺中，会使用到蒸发台(例如MARK50蒸发台)，其高真空的建立均使用冷泵(一般为16寸)，而冷泵在使用一定的时间后均需更换，维护。由于冷泵重量较重，每次更换一般需要2人托举，1人装卸。且由于安装空间狭小，操作配合困难，工作效率低。从安全角度考虑，易造成人身伤害等安全隐患。

技术实现思路

[0003]本申请提供一种冷泵及冷泵系统，能方便用户进行移动、拆卸、维修等操作。
[0004]第一方面，本申请实施例提供一种冷泵，包括冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；
[0005]冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；
[0006]脚轮位于底板远离支撑件的一侧；
[0007]冷泵本体用于制造真空环境；
[0008]支撑件和底板用于支撑冷泵本体；
[0009]脚轮用于移动冷泵本体。
[0010]在一种可能的实施方式中，支撑件包括第一支撑柱、第二支撑柱和第三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷泵，其特征在于，包括冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；所述冷泵本体位于所述支撑件的一侧，所述支撑件的另一侧与所述底板连接；所述脚轮位于所述底板远离所述支撑件的一侧；所述冷泵本体用于制造真空环境；所述支撑件和所述底板用于支撑所述冷泵本体；所述脚轮用于移动所述冷泵本体。2.根据权利要求1所述的冷泵，其特征在于，所述支撑件包括第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱；所述第一支撑柱、所述第二支撑柱和所述第三支撑柱在所述底板的投影两两连线后构成三角形。3.根据权利要求2所述的冷泵，其特征在于，所述第一支撑柱靠近所述冷泵本体的一侧包括第一凸块，所述第一支撑柱靠近所述底板的一侧包括第一凹槽；所述冷泵本体靠近所述第一支撑柱的一侧包括与所述第一凸块对应的第一安装孔，所述冷泵本体和所述第一支撑柱通过所述第一凸块和所述第一安装孔连接；所述底板靠近所述第一支撑柱的一侧包括与所述第一凹槽对应的安装柱，所述底板和所述第一支撑柱通过所述第一凹槽和所述第一安装柱连接。4.根据权利要求3所述的冷泵，其特征在于，所述第一凸块和所述第一安装孔可拆卸连接。5.根据权利要求2所述的冷泵，其特征在于，所述底板包括第一支撑区域和第二支撑区域，所述第一支撑柱位...

【专利技术属性】
技术研发人员：路龙，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：