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本申请公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。

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