一种应用于高能电子枪的装配装置及装配方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于高能电子枪领域，具体地说是一种应用于高能电子枪的装配装置及装配方法。该装配装置包括底座、旋转台、三爪卡盘、百分表支架及百分表，旋转台及百分表支架分别安装于底座上，三爪卡盘安装于旋转台上，百分表安装于百分表支架上。本发明专利技术提出的装配装置通过旋转台、三爪卡盘、百分表支架及百分表的配合设置，可及时调整并保证关键部件的同轴度，可以实现边打表测同轴度边安装电子枪；通过采用本发明专利技术的装配方法，将提高电子枪核心部件(阴极灯丝、栅极、聚焦极、阳极)之间的同轴度，避免因随机装配致使电子束性能变差等问题，并为高能电子枪装配提供了一个统一的方法，并且其测量结果对设计电子枪也具有指导意义。对设计电子枪也具有指导意义。对设计电子枪也具有指导意义。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于高能电子枪的装配装置及装配方法


[0001]本专利技术属于高能电子枪领域，具体地说是一种应用于高能电子枪的装配装置及装配方法。

技术介绍

[0002]电子枪作为高能电子衍射仪的发射源，广泛应用于分子束外延和脉冲激光束沉积等制备薄膜过程中，因此电子束的性能十分关键，而束流和束斑是判定电子束性能的关键指标。影响束流、束斑的因素很多，除电子枪自身极板尺寸和间距外，电子枪装配不当也会导致无法达到理想束流和束斑值，比如电子枪核心部件同轴度差会导致只有部分电子束通过光路而出现束流过小的情况。目前国产电子枪在同轴性方面仍需加强，所以提出一种能测量并保证电子枪核心部件的同轴性的装配方法是很有必要的。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种应用于高能电子枪的装配装置及装配方法。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种应用于高能电子枪的装配装置，包括底座、旋转台、三爪卡盘、百分表支架及百分表，所述旋转台及所述百分表支架分别安装于所述底座上，所述三爪卡盘安装于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于高能电子枪的装配装置，其特征在于：包括底座(11)、旋转台(4)、三爪卡盘(3)、百分表支架(12)及百分表(1)，所述旋转台(4)及所述百分表支架(12)分别安装于所述底座(11)上，所述三爪卡盘(3)安装于所述旋转台(4)上、随所述旋转台(4)旋转，所述百分表(1)安装于所述百分表支架(12)上。2.一种应用于高能电子枪的装配方法，其特征在于：采用如权利要求1所述的装配装置进行装配，包括以下步骤：步骤一：利用三爪卡盘(3)夹紧聚焦筒(7)，使百分表探针(2)与聚焦筒(7)的外周面接触，转动旋转台(4)一周，通过观察百分表(1)指针偏转来测量聚焦筒(7)的同轴度；步骤二：将陶瓷座(6)与聚焦筒(7)连接，以聚焦筒(7)为基准测陶瓷座(6)的同轴度，使百分表探针(2)与陶瓷座(6)的外周面接触，转动旋转台(4)一周，通过观察百分表(1)指针偏转来测量陶瓷座(6)的同轴度，并通过不断调整将陶瓷座(6)的同轴度控制在规定的数值范围；步骤三：将阴极组件(5)固定在陶瓷座(6)上，以聚焦筒(7)为基准，使用百分表(1)测阴极组件(5)的同轴度，通过不断调整将阴极组件(5)的同轴度控制在规定的数值范围；步骤四：将经由步骤一、二、三后安装完成的部件从三爪卡盘(3)取下并放到座环(9)的卡槽内，用小支撑杆将座环(9)分别与阳极组件的阳极筒及阳极帽连接起来，用大支撑杆将座环(9)和电极法兰(10)连接起来，并将阴...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁方，李昌龙，赵崇凌，李冬，张学良，杜向辉，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：