监测环境气体有机物的装置及方法制造方法及图纸

本公开提供了一种监测环境气体有机物的装置及方法，包括第一采样机构、集气机构、分析单元、载气机构和采样泵；第一采样机构与集气机构的第一端连接，载气机构和采样泵分别与集气机构的第二端连接，分析单元与集气机构的第一端连接；集气机构用于在采样步骤中对环境气体中的有机物进行吸附，在分析步骤中将有机物脱附；载气机构用于在分析步骤中将脱附的有机物送入分析单元进行检测。采样步骤中，由采集机构对气体中的有机物进行吸附，分析步骤中，利用载气机构内的气体将集气机构内脱附的有机物送入分析单元进行检测，重复上述操作，即可实时对环境气体进行实时监测，且能够及时发现环境异常，为产品生产和有机物使用管理提供环境质量依据。环境质量依据。环境质量依据。

【技术实现步骤摘要】
监测环境气体有机物的装置及方法


[0001]本公开涉及有机物检测
，尤其是涉及一种监测环境气体有机物的装置及方法。

技术介绍

[0002]在半导体领域中挥发性有机物(volatile organic compoundsVOC)会在晶圆(wafer)表面形成颗粒或者微粒，造成工艺缺陷。目前半导体厂内常见有机物有IPA、丙酮、乙酸乙酯、PGMEA、苯、甲苯以及二甲苯等有机物。因此，需要对半导体车间环境中VOC进行检测和管控。即通过实验室气相色谱
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质谱联用仪(Gas chromatography
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mass spectrometry GC
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MS)对环境进行检测分析。GC
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MS是目前使用最普遍的VOC分析仪器。
[0003]现有分析仪的采样和分析是独立进行，采样需要人工携带进行采样，分析则是由分析仪器执行。现有采样分析方式耗时较长无法实时反应现场环境质量，不适用对环境的实时监测。

技术实现思路

[0004]本公开的目的在于提供一种监测环境气体有机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种监测环境气体有机物的装置，其特征在于，包括第一采样机构、集气机构、分析单元、载气机构和采样泵；所述第一采样机构与所述集气机构的第一端连接，所述载气机构和所述采样泵分别与所述集气机构的第二端连接，所述分析单元与所述集气机构的第一端连接；所述集气机构用于在采样步骤中对环境气体中的有机物进行吸附，在分析步骤中将有机物脱附；所述载气机构用于在分析步骤中将脱附的有机物送入所述分析单元进行检测。2.根据权利要求1所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述分析单元包括分离机构和侦测机构；所述分离机构包括色谱柱一、色谱柱二、色谱柱三和换向电磁阀；所述侦测机构包括第一侦测器和第二侦测器；所述色谱柱一的一端与所述集气机构连接，所述色谱柱一的另一端分别通过一毛细管与所述色谱柱二和所述色谱柱三连接，所述第一侦测器与所述色谱柱二连接，所述第二侦测器与所述色谱柱三连接；所述换向电磁阀为三位三通阀，其中，所述换向电磁阀的P口与所述色谱柱一和所述色谱柱二之间的毛细管连接，所述换向电磁阀的O口与所述色谱柱一和所述色谱柱三之间的毛细管连接，所述换向电磁阀的A口与所述载气机构连接。3.根据权利要求1所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述集气机构包括吸附脱附管、加热管和热电偶；所述吸附脱附管的第一端分别与所述第一采样机构和所述分析单元连接，所述吸附脱附管的第二端分别与所述载气机构和所述采样泵连接，所述加热管套设于所述吸附脱附管的外侧，所述热电偶设于所述加热管；和/或，所述载气机构包括惰性气体瓶、过滤器和压力调节阀；所述惰性气体瓶与所述过滤器连接，所述过滤器通过所述压力调节阀与所述分析单元连接。4.根据权利要求1所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述第一采样机构包括第一采样口和第一电磁阀；所述第一采样口通过所述第一电磁阀与所述集气机构的第一端连接，所述第一电磁阀用于所述第一采样口与所述集气机构之间的连通和断开。5.根据权利要求1所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述监测环境气体有机物的装置还包括第二采样机构，所述第二采样机构与所述采样泵连接。6.根据权利要求5所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述监测环境气体有机物的装置还包括第二电磁阀；所述第二采样机构包括带过滤功能的第二采样口和第三电磁阀；所述集气机构的第二端通过所述第二电磁阀分别与所述第三电磁阀和所述载气机构连接，所述第三电磁阀分别与所述采样泵和所述第二采样口连接；所述第二电磁阀用于控制所述载气机构与所述集气机构以及所述第三电磁阀与所述集气机构的连通和断开；所述第三电磁阀用于控制所述第二采样口与所述采样泵以及所述第二电磁阀与所述采样泵的连通和断开。7.根据权利要求4所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述监测环境气体
有机物的装置还包括三通接头和加热片，所述加热片设于所述三通接头的侧向，用于对所述三通接头加热；所述三通接头的接口一与所述第一电磁阀连接，所述三通接头的接口二与所述分析单元连接，所述三通接头的接口三与所述集气机构的第一端连接。8.根据权利要求7所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述三通接头的材质为金属。9.根据权利要求6所述的监测环境气体有机物的装置，其特征在于，所述监测环境气体有机物的装置还包括流量计，所述流量计设于所述第二电磁阀和所述第三电磁阀之间，且所述流量计的一端与所述第二电磁阀连接，另一端与所述第三电磁阀连接；和/或，所述监测环境气体有机物的装置还包括毛细管结构，所述毛细管结构设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王须宝，丁云霄，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：