一种无极变距取放模组及调整工装制造技术

技术编号:32201139 阅读:21 留言:0更新日期:2022-02-08 16:08
本实用新型专利技术旨在提供一种可自由调节、定位精度高、工作稳定可靠且便于调整组装的无极变距取放模组及调整工装。所述无极变距取放模组包括安装架、多动子直线驱动电机以及若干组移动吸取机构,所述多动子直线驱动电机固定在所述安装架上,若干组所述移动吸取机构对应设置在所述多动子直线驱动电机的活动部件上,所述安装架上设置有光栅尺,若干组所述移动吸取机构上均设置有与所述光栅尺配合的读数器;所述调整工装用于若干所述移动吸取机构的校准调整。本实用新型专利技术应用于取放模组的技术领域。本实用新型专利技术应用于取放模组的技术领域。本实用新型专利技术应用于取放模组的技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种无极变距取放模组及调整工装


[0001]本技术应用于取放模组的
,特别涉及一种无极变距取放模组及调整工装。

技术介绍

[0002]芯片产品的取放已经是半导体自动化生产过程中的基本工艺,为了提高生产效率以及产能,往往一个取放装置会安装多个吸嘴,同时取放多个芯片。然而在实际生产中,产品在吸取端和放置端的间距往往是不一致的,加之放置端可能有多个,这就要求多吸嘴取放装置的吸嘴间距具备变距的功能,可以灵活适应各种工况。而且随着芯片越来越小,为提高多个产品同时取放的成功率,吸嘴与吸嘴之间的距离精度要求也越来越高。目前,市面上的多吸嘴变距取放模组大多只能实现两种变距,生产模式较为单一,只适用于吸取工位与放置工位间距固定的场合。而实际生产测试过程中,产品往往需要在多个工位间流转运作,每个工位的产品间距都可能不一样。另外,市面大部分的变距机构,大多采用凸轮或者连杆机构来实现距离的变化,背隙大,刚性弱,吸嘴变换间距后距离公差很大,精度差,在同时吸取微小产品时,往往导致个别吸嘴吸取失败。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供了一种可自由调节、定位精度高、工作稳定可靠且便于调整组装的无极变距取放模组及调整工装。
[0004]本技术所采用的技术方案是:所述无极变距取放模组包括安装架、多动子直线驱动电机以及若干组移动吸取机构,所述多动子直线驱动电机固定在所述安装架上,若干组所述移动吸取机构对应设置在所述多动子直线驱动电机的活动部件上,所述安装架上设置有光栅尺,若干组所述移动吸取机构上均设置有与所述光栅尺配合的读数器。
[0005]由上述方案可见,通过采用多动子直线电机进而带动若干所述移动吸取机构分别进行位置调整,进而实现根据产品的具体情况实现对应的调整,实现了吸嘴间距的自由变化,准确适配不同的摆放情况。通过设置所述光栅尺并在若干所述移动吸取机构上均设置有所述读数器,进而准确识别每组所述移动吸取机构的位置,保证吸嘴与吸嘴之间的任意距离都具备很高的精度,提高产品取放的准确率。
[0006]一个优选方案是,所述无极变距取放模组还包括基准吸取机构,所述基准吸取机构固定在所述安装架上,若干组所述移动吸取机构均与所述基准吸取机构配合。
[0007]由上述方案可见,通过设置所述基准吸取机构进行若干所述移动吸取机构的校准定位,进而提高若干所述移动吸取机构的移动精度,实现提高取放准确度,同时提供一个位置固定取放工位。
[0008]进一步的优选方案是,所述基准吸取机构和所述移动吸取机构均包括气缸吸取组件,所述基准吸取机构还包括与所述安装架固定连接的固定板,所述基准吸取机构的气缸吸取组件固定在所述固定板上,所述移动吸取机构还包括滑动配合在所述安装架上的活动
板,所述移动吸取机构的气缸吸取组件固定在所述活动板上。
[0009]由上述方案可见,所述气缸吸取组件用于进行吸嘴结构的伸出缩回,实现物料的取放,同时通过真空吸附的方式实现对物料的取放。通过所述固定板实现所述基准吸取机构的气缸吸取组件与所述安装架的固定连接。通过滑动配合在所述安装架上的活动板,实现将所述气缸吸取组件与所述多动子直线电机的活动部件连接。
[0010]更进一步的优选方案是,所述安装架上设有若干平行于所述多动子直线驱动电机的长度方向设置的第一直线导轨,若干组所述移动吸取机构的所述活动板均分别通过滑块与若干所述第一直线导轨滑动配合。
[0011]由上述方案可见,通过设置若干所述第一直线导轨对所述活动板进行导向限位,进而提高所述移动吸取机构的直线移动精度,使得所述气缸吸取组件的移动更为精确,保证产品吸取的准确度。
[0012]更进一步的优选方案是,所述气缸吸取组件包括安装块以及若干真空气缸,所述真空气缸固定在所述安装块上,所述真空气缸的活塞杆内部设有真空通道,所述真空通道与外部的真空发生器连通,所述真空气缸的活塞杆端部连接有真空吸嘴,所述真空吸嘴与所述真空通道连通。
[0013]由上述方案可见,通过所述安装块进行所述真空气缸的固定,通过采用真空气缸同时实现带动所述真空吸嘴作升降动作,以及与外部的真空发生器连通,实现在所述真空吸嘴处产生负压进行物料的吸取。
[0014]又进一步的优选方案是,所述真空气缸的活塞杆端部设置有连接件,所述真空吸嘴通过滑动连接座与所述连接件固定连接,所述滑动连接座通过第二直线导轨滑动配合在所述安装块上。
[0015]由上述方案可见,通过设置所述滑动连接座以及所述第二直线导轨配合,提高所述真空吸嘴的直线移动精度,进而确保产品的取放精度。
[0016]再更进一步的优选方案是,所述滑动连接座与所述连接件之间设置有柔性垫块。
[0017]由上述方案可见,通过设置所述柔性垫块可消除由加工误差、装配差等带来气缸运行卡顿现象,使所述真空气缸运行顺畅,并且还可以起到密封的效果。
[0018]再更进一步的优选方案是,所述安装块上还连接有复位弹簧,所述复位弹簧远离所述安装块的一端与所述滑动连接座连接。
[0019]由上述方案可见,通过设置所述复位弹簧作为保护结构,在断电或断气时,通过所述复位弹簧可将所述真空气缸的活塞杆由工作位拉至初始位,防止在意外情况下对吸嘴造成的损坏。
[0020]一个优选方案是,所述安装架上设置有与若干组所述移动吸取机构配合的若干第一柔性阻挡块。
[0021]由上述方案可见,通过设置所述第一柔性阻挡块与所述移动吸取机构配合,进而防止所述多动子直线驱动电机失控过冲撞坏驱动结构。
[0022]所述调整工装包括主体支架,所述主体支架上设置有与所述安装架配合的固定连接块,所述固定连接块和所述安装架上分别设置有相适配的阶梯孔和螺纹孔,所述主体支架上阵列设置有若干与所述基准吸取机构、所述移动吸取机构的真空吸嘴配合的吸嘴限位孔,每个所述吸嘴限位孔的两侧均设置有滑动座连接限位孔。
[0023]由上述方案可见,由于若干所述移动吸取机构均需要与所述基准吸取机构配合进行校准,故而所述基准吸取机构和若干所述移动吸取机构上的真空吸嘴之间的相对需要提前校准,确保变距前后每个真空吸嘴均能够准确的进行物料的吸取。调整时通过所述阶梯孔和所述螺纹孔配合进行所述主体支架的限位,通过所述主体支架的边缘与所述安装架配合进行导向,进而实现准确的定位。通过所述吸嘴限位孔与真空吸嘴配合,进而对真空吸嘴进行限位,通过所述滑动座连接限位孔实现调整滑动座的位置,确保真空吸嘴能够顺畅的进出所述吸嘴限位孔即完成调整。
附图说明
[0024]图1是所述无极变距取放模组第一视角的立体结构示意图;
[0025]图2是所述无极变距取放模组第二视角的立体结构示意图;
[0026]图3是所述无极变距取放模组隐藏顶部结构的立体结构示意图;
[0027]图4是所述气缸吸取组件的立体结构示意图
[0028]图5是所述气缸吸取组件的分解结构示意图;
[0029]图6是所述调整工装与所述无极变本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无极变距取放模组,其特征在于:它包括安装架(1)、多动子直线驱动电机(2)以及若干组移动吸取机构(3),所述多动子直线驱动电机(2)固定在所述安装架(1)上,若干组所述移动吸取机构(3)对应设置在所述多动子直线驱动电机(2)的活动部件上,所述安装架(1)上设置有光栅尺(4),若干组所述移动吸取机构(3)上均设置有与所述光栅尺(4)配合的读数器(5)。2.根据权利要求1所述的一种无极变距取放模组,其特征在于:所述无极变距取放模组还包括基准吸取机构(6),所述基准吸取机构(6)固定在所述安装架(1)上,若干组所述移动吸取机构(3)均与所述基准吸取机构(6)配合。3.根据权利要求2所述的一种无极变距取放模组,其特征在于:所述基准吸取机构(6)和所述移动吸取机构(3)均包括气缸吸取组件(7),所述基准吸取机构(6)还包括与所述安装架(1)固定连接的固定板(601),所述基准吸取机构(6)的气缸吸取组件(7)固定在所述固定板(601)上,所述移动吸取机构(3)还包括滑动配合在所述安装架(1)上的活动板(301),所述移动吸取机构(3)的气缸吸取组件(7)固定在所述活动板(301)上。4.根据权利要求3所述的一种无极变距取放模组,其特征在于:所述安装架(1)上设有若干平行于所述多动子直线驱动电机(2)的长度方向设置的第一直线导轨(8),若干组所述移动吸取机构(3)的所述活动板(301)均分别通过滑块与若干所述第一直线导轨(8)滑动配合。5.根据权利要求3所述的一种无极变距取放模组,其特征在于:所述气缸吸取组件(7)包括安装块(701)以及若干真空气缸(702),所述真空气缸(702)固定在所述安装块(701)...

【专利技术属性】
技术研发人员:李辉郭从容李峰
申请(专利权)人:珠海市运泰利自动化设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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