【技术实现步骤摘要】
一种分级式蒸发源及蒸镀装置
[0001]本专利技术涉及蒸镀
，具体是指一种分级式蒸发源及蒸镀装置。
技术介绍
[0002]蒸镀是将材料在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜。
[0003]手机屏幕在生产过程中，基本都需要对其实施蒸镀操作。目前，存在的蒸镀加热方式基本都是利用加热电阻丝套于坩埚外进行加热，此种加热方式会使坩埚各部分温度基本一致，且温度散失较多，使坩埚各部分温度没有梯度化，从而会影响喷射的力度和均匀度；现有的加热方式也有利用电磁线圈缠绕进行加热的，但其电磁线圈都是至缠绕有一层且紧密度间隔相同，同样会使坩埚的加热没有梯度的变化。
技术实现思路
[0004]本专利技术为了解决上述的各种问题，提供了一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其可使坩埚的加热具有梯度化且可使热量的散失较少，能够保证原材料的融化速度和融化效果。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的技术方案为：一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚外部包裹有防护...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚(1)，其特征在于:所述蒸镀坩埚(1)外部包裹有防护壳(2)，所述蒸镀坩埚(1)放置于防护壳(2)内，所述防护壳(2)上面设有开口(3)，所述蒸镀坩埚(1)上端伸出开口(3)进行设置，所述蒸镀坩埚(1)外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈(4)，每层所述电磁线圈(4)另一端均电连有控制组件(5)，每层所述电磁线圈(4)缠绕的紧密度不同。2.根据权利要求1所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征在于：所述控制组件(5)包括与电磁线圈(4)一端电连的电源调节组件，所述电磁线圈另一端也与电磁线圈(4)相电连，所述电源调节组件电连有温控组件，所述温控组件另一端与所述蒸镀坩埚(1)外侧面相接触。3.根据权利要求2所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征在于：所述电源调节组件包括电源、谐振器和谐振电容，所述电磁线圈(4)两端均与谐振电容电连，所述谐振器与谐振电容电连，所述电源与谐振器电连，所述温控组件与谐振器电连。4.根据权利要求3所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈景升，
申请(专利权)人：江苏微迈思半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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