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本发明公开了一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚外部包裹有防护壳，所述蒸镀坩埚放置于防护壳内，所述防护壳上面设有开口，所述蒸镀坩埚上端伸出开口设置，所述蒸镀坩埚外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈，每层所述电磁线圈另...
该专利属于江苏微迈思半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微迈思半导体科技有限公司授权不得商用。

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