一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及探针卡技术领域，公开了一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，通过模拟探针卡在测试时上机的固定状态，即以探针卡PCB具有针尖的一面（bottom面）作为基准面，对探针卡针尖共面性进行调整，使得调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡安装在测试探针台上使用时的基准面相一致，有效保证了探针卡的测试精度，从而有效解决了调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡实际使用时的基准面不一致的问题，且结构简单，使用方便，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置


[0001]本技术涉及探针卡
，特别涉及一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。
[0003]在探针卡制作完成后，需要通过测量装置对探针卡上的针尖进行共面性测量和调针，使探针卡的针尖均位于同一平面上，即保证针尖共面性，从而保证探针卡的测试精度。探针卡在共面性调针时，探针卡的针尖是朝上的，即探针卡的带有针尖的一面（bottom面）朝上，以便于测量和调针。<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，包括活动盖、底板、侧板、承托基准板以及压板，所述活动盖呈U形结构设置，所述侧板分别平行地设置于所述底板的下端壁的两侧，所述侧板和压板均呈L形结构设置，所述承托基准板分别通过螺钉可拆卸的固定于所述侧板的下端壁上，所述侧板的下端部的内侧壁分别凸设有一支撑台阶，所述压板分别可拆卸的设置于所述支撑台阶的上端壁上，所述压板的下端壁与所述承托基准板的上端壁之间形成一探针卡夹持口，所述侧板均可活动的设置于所述活动盖内，且所述底板的两端的下端壁分别与所述活动盖的两端的上端壁抵接设置，所述承托基准板的下端壁与所述活动盖的内底壁间隔连接，所述侧板的外侧壁分别与所述活动盖的两端的内侧壁滑动抵接设置。2.根据权利要求1所述的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，还包括第一紧固螺钉，所述压板的两端分别凹设有一第一通孔，所述支撑台阶的上端壁的两端分别凹设有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志广，颜烈刚，劳杰，黎华盛，孙锐锋，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：