一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，涉及半导体生产技术领域，包括罐体，所述罐体的上表面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿罐体的上表面并延伸至罐体的内部，所述罐体的内壁滑动连接有第一活塞，所述电动伸缩杆的输出端固定连接于第一活塞上表面的中部，所述出气管外表面的右侧安装有减压机构，且出气管外表面的左侧安装有警示机构，所述罐体外表面的下部卡接有底座，所述底座的四个边角处均开设有螺纹孔。本实用新型专利技术设计结构合理，它能够通过设置减压机构，避免装置因内部气压过大而发生损坏，通过设置警示机构，警示效果较好，易被操作人员发觉装置内部气压是否过大。人员发觉装置内部气压是否过大。人员发觉装置内部气压是否过大。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备


[0001]本技术涉及半导体生产
，具体是一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备。

技术介绍

[0002]化学气相淀积是指把含有构成薄膜元素的气态或液态反应剂的蒸气及反应所需要的其它气体引入反应室，并在衬底表面发生化学反应从而生成薄膜的过程。
[0003]半导体在生产时需要用到化学气相淀积用化学品供应设备，现有的设备减压效果不好，使得装置容易因气压过大而发生损坏，同时装置外部设置的警示效果不佳，使得操作人员不易发觉装置内部气压是否过大。为此，我们提供了一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备解决以上问题。

技术实现思路

[0004]一）解决的技术问题
[0005]本技术的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备。
[0006]二）技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，包括罐体，所述罐体的上表面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，包括罐体（1），其特征在于：所述罐体（1）的上表面固定连接有电动伸缩杆（2），所述电动伸缩杆（2）的输出端贯穿罐体（1）的上表面并延伸至罐体（1）的内部，所述罐体（1）的内壁滑动连接有第一活塞（3），所述电动伸缩杆（2）的输出端固定连接于第一活塞（3）上表面的中部，所述罐体（1）外表面左侧的下部固定连通有进气管（4），所述进气管（4）的内壁固定连接有第一单向阀（5），所述罐体（1）外表面右侧的下部固定连通有出气管（6），所述出气管（6）的内壁固定连接有第二单向阀（7），且出气管（6）的内部安装有阀门（8），所述出气管（6）外表面的右侧安装有减压机构（9），且出气管（6）外表面的左侧安装有警示机构（10），所述罐体（1）外表面的下部卡接有底座（11），所述底座（11）的四个边角处均开设有螺纹孔（23）。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，其特征在于：所述减压机构（9）包括圆筒（12），所述圆筒（12）的底面与出气管（6）相连通，且圆筒（12）的内壁滑动连接有第二活塞（13），所述第二活塞（13）的上表面固定连接有伸缩弹簧（14），所述圆筒（12）外表面的右侧开设有通孔（15）。3.根据权利要求2所述的一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，其特征在于：所述圆筒（12）的上表面螺纹连接有螺纹杆（16），所述螺纹杆（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，唐蓉，吴汉涛，
申请(专利权)人：无锡恒大电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：