本实用新型专利技术公开了一种硅烷膜电化学沉积装置，包括台架，台架上设置有硅烷液存储槽、电化学沉积槽和过滤装置，过滤装置包括水泵和过滤器，水泵的进口通过三通管件分别与供液管和回液管连通，供液管和回液管上均设置有控制阀门，供液管的进口与硅烷液存储槽连通，回液管的进口与电化学沉积槽连通；水泵的出口通过滤液进管与过滤器的进口连通，过滤器的出口通过滤液出管与电化学沉积槽连通。本实用新型专利技术可对电化学沉积的硅烷液进行循环过滤，得到较为纯净的硅烷液，实现了硅烷液可多次利用，节约成本，减少浪费，同时提高了硅烷液的稳定性以及电化学沉积硅烷膜的性能。电化学沉积硅烷膜的性能。电化学沉积硅烷膜的性能。
【技术实现步骤摘要】
一种硅烷膜电化学沉积装置
[0001]本技术涉及电化学沉积领域，尤其涉及一种硅烷膜电化学沉积装置。
技术介绍
[0002]硅烷电化学处理是一种新兴金属表面防护预处理技术，利用硅烷偶联剂的特殊分子结构对金属或非金属表面处理，其工艺具有成本低廉，操作简单，环保无污染等优点，有望完全取代铬化和磷化处理工艺。
[0003]传统硅烷化处理工艺一般采用浸涂法，即将预处理后的金属工件浸泡在预先水解的硅烷液中，一段时间后取出干燥即可。此方法工艺简单，但成膜效果差，表面膜层薄，对基体的覆盖率低，长期防护效果差。
[0004]现有技术中，电化学沉积法制备硅烷膜可以有效改善膜层质量，提高膜层厚度，提高膜层对基体的覆盖率。电化学沉积法一般将待处理的金属与直流电源负极相连，铂片与电源正极相连，一定的阴极电位下待处理表面附近微区溶液的pH值升高，有利于硅烷缩聚反应，促进硅烷膜沉积，增加膜层厚度，改善膜层质量。
[0005]但是，通过电化学沉积法制备硅烷膜后，硅烷液易出现沉淀现象，影响硅烷液的稳定性，恶化硅烷膜性能。
技术实现思路
[0006]基于上述问题，本技术的目的是提供一种具有过滤功能的硅烷膜电化学沉积装置，本技术采用如下技术方案：
[0007]本技术提供了一种硅烷膜电化学沉积装置，包括台架，所述台架上设置有硅烷液存储槽、电化学沉积槽和过滤装置，所述电化学沉积槽的一侧设置有机械臂，所述机械臂上安装有用于夹持样件的机械手；
[0008]所述过滤装置包括水泵和过滤器，所述水泵的进口通过三通管件分别与供液管和回液管连通，所述供液管和回液管上均设置有控制阀门，所述供液管的进口与所述硅烷液存储槽连通，所述回液管的进口与所述电化学沉积槽连通；所述水泵的出口通过滤液进管与所述过滤器的进口连通，所述过滤器的出口通过滤液出管与所述电化学沉积槽连通。
[0009]进一步的，所述台架的下方设置有废液存储槽，所述电化学沉积槽的底部设置有排废管，所述排废管的下端延伸至所述废液存储槽中。
[0010]进一步的，所述电化学沉积槽的底部设置有加热元件。
[0011]进一步的，所述机械臂的一侧设置有载物托盘。
[0012]进一步的，所述台架的一侧设置有电器控制台。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益技术效果：
[0014]本技术可对电化学沉积的硅烷液进行循环过滤，得到较为纯净的硅烷液，实现了硅烷液可多次利用，节约成本，减少浪费，同时提高了硅烷液的稳定性以及电化学沉积硅烷膜的性能。
附图说明
[0015]下面结合附图说明对本技术作进一步说明。
[0016]图1为本技术硅烷膜电化学沉积装置的结构示意图；
[0017]附图标记说明：1、台架；2、硅烷液存储槽；3、电化学沉积槽；4、过滤装置；401、水泵；402、过滤器；403、供液管；404、回液管；405、控制阀门； 406、滤液进管；407、滤液出管；5、机械臂；501、机械手；6、废液存储槽； 7、排废管；8、载物托盘；9、电器控制台。
具体实施方式
[0018]为了使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。
[0019]如图1所示，本实施例中公开了一种硅烷膜电化学沉积装置，包括台架1，台架1上设置有硅烷液存储槽2、电化学沉积槽3和过滤装置4。
[0020]过滤装置4包括水泵401和过滤器402，水泵401的进口通过三通管件分别与供液管403和回液管404连通，供液管403和回液管404上均设置有控制阀门405，供液管403的进口与硅烷液存储槽2连通，回液管404的进口与电化学沉积槽3连通；水泵401的出口通过滤液进管406与过滤器402的进口连通，过滤器402的出口通过滤液出管407与电化学沉积槽3连通。
[0021]硅烷液存储槽2通过供液管403、水泵401、滤液进管406、过滤器402和滤液出管407向电化学沉积槽3中补充硅烷液。当电化学沉积槽3中的硅烷液出现沉积现象时，通过回液管404、水泵401、滤液进管406、过滤器402和滤液出管407实现电化学沉积槽3中硅烷液的循环过滤。
[0022]在台架1的下方设置有废液存储槽6，电化学沉积槽3的底部设置有排废管 7，电化学沉积槽3中废液通过排废管7流至废液存储槽6中，排废管7上安装有控制阀门。
[0023]电化学沉积槽3的底部设置有加热元件，加热元件与温控器电电连接，通过加热元件可加热电沉积液并保持合适的反应温度，电化学沉积过程中硅烷液温度由温控器控制，调控不同温度条件保证电化学沉积硅烷膜质量。
[0024]电化学沉积槽3的一侧设置有机械臂5，机械臂5上安装有机械手501，机械臂5的一侧设置有载物托盘8。机械手501将样件夹持并通过机械臂5完成转移工作。
[0025]台架1的一侧设置有电器控制台9，电器控制台9内安装有控制系统，通过操控电器控制台9上的控制面板可完成供液、过滤、温控、排废液、样件转移等操作。
[0026]以上所述的实施例仅是对本技术的优选方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本技术的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本技术权利要求书确定的保护范围内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅烷膜电化学沉积装置，包括台架(1)，其特征在于：所述台架(1)上设置有硅烷液存储槽(2)、电化学沉积槽(3)和过滤装置(4)，所述电化学沉积槽(3)的一侧设置有机械臂(5)，所述机械臂(5)上安装有用于夹持样件的机械手(501)；所述过滤装置(4)包括水泵(401)和过滤器(402)，所述水泵(401)的进口通过三通管件分别与供液管(403)和回液管(404)连通，所述供液管(403)和回液管(404)上均设置有控制阀门(405)，所述供液管(403)的进口与所述硅烷液存储槽(2)连通，所述回液管(404)的进口与所述电化学沉积槽(3)连通；所述水泵(401)的出口通过滤液进管(406)与所述过滤器(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘敬春，郝毅超，纪旭东，郝建军，马跃进，
申请(专利权)人：河北农业大学，
类型：新型
国别省市：
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