一种低频小损耗声表面波滤波器及电子设备制造技术

本发明专利技术涉及声表面波滤波器技术领域，公开了一种低频小损耗声表面波滤波器及电子设备。低频小损耗声表面波滤波器采用瑞利波波动模式的三换能器直线型结构，包括在基片上制作的中间换能器和位于中间换能器两端的两端换能器，所述中间换能器采用变迹加权换能器，所述两端换能器采用全反射换能器。采用瑞利波波动模式设计，工艺上容易实现；三换能器直线型设计结构更有利于减小声表面波滤波器的面积，同时更有利于控制换能器的声波传输，实现低频小损耗声表面波滤波器的小型化设计。损耗声表面波滤波器的小型化设计。损耗声表面波滤波器的小型化设计。

【技术实现步骤摘要】
一种低频小损耗声表面波滤波器及电子设备


[0001]本专利技术涉及声表面波滤波器
，尤其涉及一种低频小损耗声表面波滤波器及电子设备。

技术介绍

[0002]声表面波滤波器是通过在压电材料上制作叉指换能器、利用压电材料的压电效应和逆压电效完成电信号和声信号的相互转化，并在声信号的传播过程中进行信号处理，从而实现滤波功能的器件。其性能参数由压电基片材料、叉指换能器的设计参数、工艺制作精度共同决定。
[0003]小损耗声表面波滤波器的特点是插入损耗小(IL＝1dB～5dB)。声表面波滤波器实现小损耗的方法是：合理设计叉指换能器的周期及其对应的金属膜厚度，使叉指换能器激发的声表面波具有最优强度和纯净度；换能器两端采用反射栅设计，将声波(能量)约束在换能器内；对换能器和反射栅进行等孔径设计，减少声波(能量)的泄漏。声表面波滤波器的波长(周期)λ＝速度V/频率f，速度和基片类型最相关，当需要制作的声表面波滤波器的频率固定下来，波长也随之确定。常用声表面波的波动模式分为瑞利波和漏波，瑞利波容易被激发且纯净度好，但可利用的最优激发强度频段较窄，适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低频小损耗声表面波滤波器，其特征在于，所述低频小损耗声表面波滤波器采用瑞利波波动模式的三换能器直线型结构，包括在基片上制作的中间换能器和位于中间换能器两端的两端换能器，所述中间换能器采用变迹加权换能器，所述两端换能器采用全反射换能器。2.根据权利要求1所述的低频小损耗声表面波滤波器，其特征在于，所述中间换能器的叉指长度变化曲线的函数表达式为：h(t)＝E(t)+jG(t)；E(t)为表达式实部，G(t)为表达式虚部；t为信号传输时间；所述中间换能器的指条采用分裂指结构，每个周期包含一对信号电极指条和一对地电极指条，每对信号电极指条中左侧指条长度为E(t)+G(t)，右侧指条长度为E(t)
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G(t)；每对地电极指条中左侧指条长度为E(t)+G(t)，右侧指条长度为E(t)
‑
G(t)。3.根据权利要求2所述的低频小损耗声表面波滤波器，其特征在于，所述中间换能器的指条宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：范佰杰，徐浩，曹玉，张志悦，
申请(专利权)人：北京航天微电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：