工件输送系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种工件输送系统，所述工件输送系统包括：基座，所述基座包括相对平行设置的、沿竖直方向延伸的两支架；XY平台，所述XY平台包括分别设置于两所述支架的两Y轴直线电机运动机构，连接两所述Y轴直线电机运动机构的X轴直线电机运动机构，以及与所述X轴直线电机运动机构连接的载台，所述载台位于两所述支架之间。载台在X及Y方向上的运动均通过直线电机运动机构来驱动，直线电机能够满足线性运动达到微米级别的需求，从而能够保证载台的运动精度，保证芯片位置调整精度。另外，载台位于两Y轴直线电机运动机构之间，充分利用了两Y轴直线电机运动机构之间的空间，集成化较高，结构紧凑。构紧凑。构紧凑。

【技术实现步骤摘要】
工件输送系统


[0001]本技术涉及自动化设备
，特别是涉及一种工件输送系统。

技术介绍

[0002]芯片测试是芯片制造过程中的一道重要环节，准确的测试能够及时剔除不良品，减少封装测试成本的浪费，提高产品良率。目前视觉系统已广泛应用于自动化生产线，利用图像的模板识别、自动定位、尺测量等功能，引导设备自动进行校准、加工、测试等动作。在此情况下，与视觉系统配合使用的、能够调整芯片位置的输送机构的运行精度非常重要，其是决定能否利用视觉系统建立图像坐标系与工作台坐标系间的精准映射关系的重要基础。
[0003]通常利用XY运动平台实现芯片的转移及保证芯片位置精度，但现有XY运动平台的精度不能够满足视觉系统的定位需求，且往往占用空间较大，不利于有效利用设备空间。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对输送机构的精度不能够满足视觉系统的定位需求的问题，提出一种工件输送系统。
[0005]一种工件输送系统，所述工件输送系统包括：基座，所述基座包括相对平行设置的、沿竖直方向延伸的两支架；XY平台，所述XY平台包括分别设置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件输送系统，其特征在于，所述工件输送系统包括：基座，所述基座包括相对平行设置的、沿竖直方向延伸的两支架；XY平台，所述XY平台包括分别设置于两所述支架的两Y轴直线电机运动机构，连接两所述Y轴直线电机运动机构的X轴直线电机运动机构，以及与所述X轴直线电机运动机构连接的载台，所述载台位于两所述支架之间，所述Y轴直线电机运动机构用于驱动所述X轴直线电机运动机构以及所述载台在Y方向上运动，所述X轴直线电机运动机构用于驱动所述载台在X方向上运动。2.根据权利要求1所述的工件输送系统，其特征在于，所述Y轴直线电机运动机构包括Y轴直线电机；所述X轴直线电机运动机构包括X轴直线电机、从动轴，在所述Y方向上，所述X轴直线电机和所述从动轴间隔设置，所述载台连接于所述X轴直线电机的动子，所述载台与所述从动轴滑动配合。3.根据权利要求2所述的工件输送系统，其特征在于，所述Y轴直线电机运动机构还包括动子连接板，所述动子连接板与所述Y轴直线电机的动子连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯利民，史赛，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：