一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元，包括驱动方向相同的第一平板直线电机和第二平板直线电机；第一平板直线电机包括第一基座，在第一基座上固定有第一定子和第一导轨；第一导轨位于第一定子的两侧；在两个第一导轨上各安装有第一滑块，第一滑块与第一动子固连，第一动子与第一动子座相连；第二平板直线电机包括第二基座，第二基座固定在第一动子座上；在第二基座上固定有第二定子和第二导轨；第二导轨位于第二定子的两侧；在两个第二导轨上各安装有第二滑块，第二滑块与第二动子固连，第二动子与第二动子座相连。动子座相连。动子座相连。

【技术实现步骤摘要】
一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元


[0001]本技术公开了一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元。

技术介绍

[0002]目前，高速精密定位平台是微电子制造行业中晶圆制造、芯片加工、芯片封装等关键工序中均需要采用的核心部件之一。而微电子制造所用的新一代精密定位平台需要同时满足大行程、高刚性、高加速度、高速度、高精度等多方面综合要求。但是，高精度与大行程、高速度之间存在矛盾。一方面，微电子封装中常见的高速频繁启停操作所带来的高加速度导致运动机构的自身惯性力作用增强，并使得运动机构趋向“柔性化”，容易导致较大的残余振动并影响定位精度。另一方面，由于导轨摩擦等非线性因素以及大行程运动平台自身质量限制，目前的单级驱动大行程运动平台的定位精度与控制带宽已经到达一定极限，很难继续提高。而以压电陶瓷、音圈电机等驱动为代表的高精密高带宽运动机构往往仅适用于小行程场合。采用气浮轴承、定制电机等方式可以在一定程度上缓解上述矛盾，但所带来的成本增加往往限制了其在工程实践中的应用范围。

技术实现思路

[0003]为了解决
技术介绍
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元，其特征在于，包括驱动方向相同的第一平板直线电机和第二平板直线电机；所述的第一平板直线电机包括第一基座，在第一基座上固定有第一定子和第一导轨；第一导轨位于第一定子的两侧；在两个第一导轨上各安装有第一滑块，第一滑块与第一动子固连，第一动子与第一动子座相连；所述的第二平板直线电机包括第二基座，第二基座固定在第一动子座上；在第二基座上固定有第二定子和第二导轨；第二导轨位于第二定子的两侧；在两个第二导轨上各安装有第二滑块，第二滑块与第二动子固连，第二动子与第二动子座相连。2.如权利要求1所述的基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元，其特征在于，在第一基座的两端安装有第一防撞器挡板，在第一防撞器挡板上安装有防撞器。3.如权利要求2所述的基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元，其特征在于，在第一防撞器挡板的外侧还设有第一侧板，第一侧板垂直于第一基座。4.如权利要求1所述的基于直线电机的高精密大行程复合直线进给...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯显英，王栋，李慧，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：新型
国别省市：