一种集成晶圆加工用热处理设备制造技术

一种集成晶圆加工用热处理设备，包括两个固定板，固定板之间固定连接有支撑板，支撑板的中间固定连接有一号电动伸缩杆，固定板的顶部固定连接有固定台，固定台的一侧侧壁固定连接有电机，与现有技术相比，本实用新型专利技术的有益效果包括：通过二号电动伸缩杆便于控制圆弧板与限位板进行移动，从而便于后续对集成晶圆进行限位固定，便于对不同规格的集成晶圆进行加工；通过均匀的固定连接在圆弧板与限位板一侧的限位框，从而便于对集成晶圆进行夹持限位，便于同时对多个集成晶圆进行热处理加工，从而提升加工效率；通过固定连接在支撑板上的过滤网，从而便于后续对放置在支撑板上的集成晶圆进行散热降温。进行散热降温。进行散热降温。

【技术实现步骤摘要】
一种集成晶圆加工用热处理设备


[0001]本技术涉及集成晶圆加工
，具体涉及一种集成晶圆加工用热处理设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，集成晶圆广泛的应用电子科技等领域，集成晶圆的生产加工需要经历一系列的加工步骤，其中热处理设备有着十分重要的作用。
[0003]现有技术中，一般的集成晶圆加工用热处理设备的加工效率较低，同时一般的设备不便于进行更换和放置集成晶圆，不便于进行后续的降温处理。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是加工效率低，不便于更换和放置集成晶圆，影响后续降温处理，为此提供一种集成晶圆加工用热处理设备。
[0005]本技术解决技术问题采用的技术方案是：一种集成晶圆加工用热处理设备，其包括：两个固定板，所述固定板之间固定连接有支撑板，所述支撑板的中间固定连接有一号电动伸缩杆，所述固定板的顶部固定连接有固定台，所述固定台的一侧侧壁固定连接有电机。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述支撑板的侧壁固定连接有过滤网，所述一号电动伸缩杆的输出端固定连接有连接板，所述连接板上均匀的固定连接有支撑台，通过固定连接在支撑板上的过滤网，从而便于后续对放置在支撑板上的集成晶圆进行散热降温。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述固定台的中间转动连接有转板，所述电机的输出端贯穿固定台的一侧，所述电机的输出端与转板的一侧侧壁固定连接，通过固定连接在固定台一侧的电机运转，从而便于控制转板转动，便于将转板另一侧固定完成的集成晶圆进行热处理，从而提升加工效率。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述转板的内部两端均固定连接有二号电动伸缩杆，所述转板的两端两侧分别滑动连接有圆弧板与限位板，所述二号电动伸缩杆的输出端分别与圆弧板与限位板的底部固定连接，所述限位板滑动连接在圆弧板内且与圆弧板匹配，通过圆弧板与限位板的移动，从而便于后续控制限位框进行移动，从而对集成晶圆进行限位固定。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述圆弧板与限位板相对的一侧均固定连接有固定架，所述固定架的一侧均匀的固定连接有限位框，所述限位框之间一一对应且匹配，所述转板的一侧下方设置有支撑台，所述限位框均与支撑台对应且匹配，通过均匀的固定连接在圆弧板与限位板一侧的限位框，从而便于对集成晶圆进行夹持限位，便于同时对多个集成晶圆进行热处理加工。
[0010]本技术具有以下优点：通过二号电动伸缩杆便于控制圆弧板与限位板进行移
动，从而便于后续对集成晶圆进行限位固定，便于对不同规格的集成晶圆进行加工；通过均匀的固定连接在圆弧板与限位板一侧的限位框，从而便于对集成晶圆进行夹持限位，便于同时对多个集成晶圆进行热处理加工，从而提升加工效率；通过固定连接在支撑板上的过滤网，从而便于后续对放置在支撑板上的集成晶圆进行散热降温；通过一号电动伸缩杆控制连接板进行升降，同时配合转板一侧的限位框，便于对集成晶圆进行更换、放置，从而提升加工效率；通过电机运转便于控制转板转动，便于配合一号电动伸缩杆和二号电动伸缩杆对集成晶圆进行更换，同时将转板另一侧固定完成的集成晶圆进行热处理，从而提升加工效率。
附图说明
[0011]图1是本技术一优选实施例的正面立体的结构示意图；
[0012]图2是本技术一优选实施例的俯视剖视的结构示意图；
[0013]图3是本技术一优选实施例的支撑板俯视剖视的结构示意图。
[0014]附图标记说明：1、固定板；2、支撑板；3、过滤网；4、一号电动伸缩杆；5、连接板；6、支撑台；7、固定台；8、电机；9、转板；10、二号电动伸缩杆；11、圆弧板；12、限位板；13、固定架；14、限位框。
具体实施方式
[0015]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0018]请结合参阅图1
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3，一种集成晶圆加工用热处理设备，包括两个固定板1，固定板1之间固定连接有支撑板2，支撑板2的中间固定连接有一号电动伸缩杆4，通过固定连接在支撑板2中间的一号电动伸缩杆4，从而便于后续控制集成晶圆进行更换、放置，固定板1的顶部固定连接有固定台7，固定台7的一侧侧壁固定连接有电机8，通过固定连接在固定台7一侧侧壁的电机8，从而便于控制转板9转动，便于提升加工效率。
[0019]其中，过滤网3固定连接在支撑板2的侧壁，通过固定连接在支撑板2上的过滤网3，从而便于后续对放置在支撑板2上的集成晶圆进行散热降温，连接板5固定连接在一号电动伸缩杆4的输出端，支撑台6均匀的固定连接在连接板5上，通过固定连接在连接板5上的支撑台6便于放置集成晶圆，然后通过一号电动伸缩杆4控制连接板5进行升降，便于对集成晶
圆进行更换、放置，从而提升加工效率。
[0020]其中，电机8的输出端贯穿固定台7的一侧，电机8的输出端固定连接有转板9，转板9转动连接在固定台7的中间，通过固定连接在固定台7一侧的电机8运转，从而便于控制转板9转动，便于配合一号电动伸缩杆4和二号电动伸缩杆10对集成晶圆进行更换，便于将热处理完成的集成晶圆取出，从而便于进行后续加工，提升加工效率，同时将转板9另一侧固定完成的集成晶圆进行热处理，从而提升加工效率。
[0021]其中，圆弧板11与限位板12分别滑动连接在转板9的两端两侧，圆弧板11与限位板12的底部均固定连接有二号电动伸缩杆10，通过固定连接在转板9内部的二号电动伸缩杆10，从而便于控制圆弧板11与限位板12进行移动，二号电动伸缩杆10分别固定连接在转板9的内部两端，限位板12与圆弧板11对应且匹配，限位板12滑动连接在圆弧板11内部，通过圆弧板11与限位板12的移动，从而便于后续对集成晶圆进行限位固定，便于对不同规格的集成晶圆进行加工，同时后续便于配合电机8带动转板9转动，将加工完成的集成晶圆放下从而进行后续加工。
[0022]其中，固定架13分别固定连接在圆弧板11与限位板12的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成晶圆加工用热处理设备，包括：两个固定板(1)，其特征在于，所述固定板(1)之间固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的中间固定连接有一号电动伸缩杆(4)，所述固定板(1)的顶部固定连接有固定台(7)，所述固定台(7)的一侧侧壁固定连接有电机(8)。2.如权利要求1所述的一种集成晶圆加工用热处理设备，其特征在于，所述支撑板(2)的侧壁固定连接有过滤网(3)，所述一号电动伸缩杆(4)的输出端固定连接有连接板(5)，所述连接板(5)上均匀的固定连接有支撑台(6)。3.如权利要求1所述的一种集成晶圆加工用热处理设备，其特征在于，所述固定台(7)的中间转动连接有转板(9)，所述电机(8)的输出端贯穿固定台(7)的一侧，所述电机(8)的输出端与转板(9)的一侧侧壁固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖笛，肖广源，罗红军，
申请(专利权)人：上海华友金裕微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：