一种碳化硅单晶的精密控制温度装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种碳化硅单晶的精密控制温度装置，包括箱体，所述箱体内设置有空腔，所述空腔内固定有工作台，所述工作台上固定有支架，所述支架上固定有电动伸缩杆，所述转盘上设置有凸缘，所述凸缘上固定有第二温度传感器，所述箱体上固定有控制器，所述控制器与所述第一温度传感器连接，所述控制器与所述温度传感器连接，所述空腔内固定有加热板，所述加热板与所述控制器连接，该碳化硅单晶的精密控制温度装置，随时碳化硅单晶制造可以起到精确的温度控制，有利于碳化硅单晶的生产制造，同时在对碳化硅单晶磨削时，方便对碳化硅单晶进行保护。行保护。行保护。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶的精密控制温度装置


[0001]本技术涉及碳化硅单晶制造装置
，具体为一种碳化硅单晶的精密控制温度装置。

技术介绍

[0002]众所周知，现有的一种碳化硅单晶的精密控制温度装置是一种用于碳化硅单晶制造的辅助装置，其在碳化硅单晶制造装置领域中得到了广泛的应用。
[0003]例如公开号为“CN210060646U”专利名称为：“一种碳化硅晶片的抛光装置”的专利，专利公开了“本技术公开了一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管，所述圆柱形固定框顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆，且两个电动伸缩杆的活塞端均焊接有同一个安置框。本技术第一电动伸缩杆下降，碳化硅晶片进入圆盘内部，打磨环对碳化硅晶片进行打磨抛光，实现自动抛光的效果，海绵刷与碳化硅晶片做滑动配合，对碳化硅晶片进行清洁，关闭弧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶的精密控制温度装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内设置有空腔(2)，所述空腔(2)内固定有工作台(3)，所述工作台(3)上固定有支架(4)，所述支架(4)上固定有电动伸缩杆(5)，所述电动伸缩杆(5)上固定有第一电机(6)，所述第一电机(6)下方与第一连接轴(7)的一端连接，所述第一连接轴(7)的另一端与磨盘(8)连接，所述磨盘(8)中央固定有第一温度传感器(9)，所述工作台(3)上固定有转盘(10)，所述工作台(3)上设置有安装槽(11)，所述转盘(10)与所述安装槽(11)相匹配，所述转盘(10)下方设置有第二电机(12)，所述第二电机(12)固定在所述安装槽(11)内，所述第二电机(12)一端与第二连接轴(13)的一端连接，所述第二连接轴(13)的另一端与所述转盘(10)连接，所述转盘(10)上设置有凸缘(14)，所述凸缘(14)上固定有第二温度传感器(15)，所述箱体(1)上固定有控制器(16)，所述控制器(16)与所述第一温度传感器(9)连接，所述控制器(16)与所述温度传...

【专利技术属性】
技术研发人员：何淑英，
申请(专利权)人：何淑英，
类型：新型
国别省市：