下载一种碳化硅单晶的精密控制温度装置的技术资料

文档序号:32081205

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本实用新型为一种碳化硅单晶的精密控制温度装置,包括箱体,所述箱体内设置有空腔,所述空腔内固定有工作台,所述工作台上固定有支架,所述支架上固定有电动伸缩杆,所述转盘上设置有凸缘,所述凸缘上固定有第二温度传感器,所述箱体上固定有控制器,所述控制...
该专利属于何淑英所有,仅供学习研究参考,未经过何淑英授权不得商用。

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