水洗过滤装置制造方法及图纸

本申请提供一种水洗过滤装置，包含：一水洗腔室，该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口；至少一过滤件，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该进气口的上方；一洒水装置，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该至少一过滤件的上方，该洒水装置包含一管路以及至少一喷头，该管路穿设于该水洗腔室，该管路的下方连接该至少一喷头。且通过液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞，以达到降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
水洗过滤装置


[0001]本申请是有关一种水洗装置，特别是一种采用液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞的水洗过滤装置。

技术介绍

[0002]现今，高科技产业为现阶段工业发展重心。然而，高科技产业的群聚现象，对于周围环境造成相当大的负担。
[0003]有别于传统产业。高科技产业在制造过程中为确保产品质量，经常使用大量易挥发性的有机溶剂清洗。此状况下就会衍生出挥发性有机气体污染物，又称为挥发性有机物(VOCs)，是指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称。
[0004]挥发性有机物(VOCs)可能经由逸散或排放管道进入大气环境中，进而污染周围环境。因此加强管制VOCs排放乃是改善空气质量的当务之急。
[0005]在高科技产业中，以集成电路产业产生的污染问题最为严重，其次为光电产业。而半导体制程中以黄光制程、封装制程为主要挥发性有机污染物来源。其VOCs废气的主要来源往往为制程使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂等等。
[0006]而这些试剂的主要有机物种以丙酮(Acetone)、异丙酮(I本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水洗过滤装置，其特征在于，包含：一水洗腔室，该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口；至少一过滤件，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该进气口的上方；一洒水装置，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该至少一过滤件的上方，该洒水装置包含一管路以及至少一喷头，该管路穿设于该水洗腔室，该管路的下方连接该至少一喷头；以及一挡水件，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该出气口及该洒水装置之间；其中，一气体经由该进气口进入该水洗腔室，并且通过该至少一过滤件，再者，一液体经由该管路进入该水洗腔室，并以该至少一喷头喷洒于经过该至少一过滤件的该气体后，该气体通过该挡水件，并经由该出气口排出该水洗腔室。2.根据权利要求1所述的水洗过滤装置，其特征在于，更包含一液体供应装置，其连通该管路的一端，该液体供应装置输送该液体进入该管路。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建凯，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：