水洗过滤装置制造方法及图纸

技术编号:32079666 阅读:19 留言:0更新日期:2022-01-27 15:46
本申请提供一种水洗过滤装置,包含:一水洗腔室,该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口;至少一过滤件,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该进气口的上方;一洒水装置,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该至少一过滤件的上方,该洒水装置包含一管路以及至少一喷头,该管路穿设于该水洗腔室,该管路的下方连接该至少一喷头。且通过液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞,以达到降低用水量以及降低风阻,并同时提升空气的清洗效率的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
水洗过滤装置


[0001]本申请是有关一种水洗装置,特别是一种采用液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞的水洗过滤装置。

技术介绍

[0002]现今,高科技产业为现阶段工业发展重心。然而,高科技产业的群聚现象,对于周围环境造成相当大的负担。
[0003]有别于传统产业。高科技产业在制造过程中为确保产品质量,经常使用大量易挥发性的有机溶剂清洗。此状况下就会衍生出挥发性有机气体污染物,又称为挥发性有机物(VOCs),是指在一大气压下,沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称。
[0004]挥发性有机物(VOCs)可能经由逸散或排放管道进入大气环境中,进而污染周围环境。因此加强管制VOCs排放乃是改善空气质量的当务之急。
[0005]在高科技产业中,以集成电路产业产生的污染问题最为严重,其次为光电产业。而半导体制程中以黄光制程、封装制程为主要挥发性有机污染物来源。其VOCs废气的主要来源往往为制程使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂等等。
[0006]而这些试剂的主要有机物种以丙酮(Acetone)、异丙酮(IPA)、丙二醇单甲基醚(PGME)、乙酸丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)、二甲基亚砜(DMSO)、乙醇胺 (MEA)、氮

甲基2

四氢吡咯酮(NMP)、二乙二醇单丁醚(BDG)、四甲基氢氧化铵 (TMAH)等成份为多数。
[0007]以往,传统的移除VOCs的技术主要分为冷凝法、吸附法、洗涤法、焚烧法以及生物处理技术等五种方法,其中
[0008]冷凝法多用于高浓度、成分单纯且具回收价值的VOCs废弃处理,冷凝法的优点为处理成本较低,缺点为需于高浓度(浓度需高于5,000ppm)时操作方具一定的效益,且设置及操作成本偏高,因此一般仅应用于高浓度且具回收价值的挥发性有机物,应用较为局限。
[0009]吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂,通过物理性吸附(可逆反应)或化学性键结(不可逆反应)作用,将VOCs气体分子自废气中分离,以达成净化废气的目的。最大特点是能在符合经济条件的操作范围内,几乎完全除去废气中某些VOCs成分,故在空气污染控制上,特别适于处理风量大含有低浓度VOCs的废气。
[0010]化学洗涤法是通过气

液接触,使气相中的臭味成分转移至液相,并通过化学药剂与臭味成分的中和、氧化或其他化学反应来以此去除臭味物质。故可应用化学洗涤方法处理的臭味物质包括有机硫化合物、含氮化合物、有机酸、含氧碳氢化合物、含卤化物等废气。
[0011]焚化法乃将含有VOCs成份的气体在高温下氧化分解,而达清净的废气以排放,此法主要优点为适用于所有可燃性成份,而其缺点为燃料消耗量大,操作成本高。焚化炉设计能供给氧气、满足燃烧温度、停留时间及废气扰流等四个燃烧条件,其中每个条件皆可视需要情况加以修正,并准确控制,以使废气完全燃烧,达到预期的处理效果。
[0012]生物处理法为污染物(如VOCs等)通过生物处理系统的过程中,通过微生物的分解、氧化、转化等机制,将污染物完全分解氧化成CO2、H2O、NO3‑
、 SO
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等无害性的无机物。虽
然生物处理法具有无二次污染的特性,然而与其它污染防治技术相较下,在选用时尤须考虑地域性参数所影响的整体成本,诸如土地价格、水费、电费的高低及法令标准等。
[0013]由上述可知,不论采用哪种方法都有其需改进的地方。为此,在使用洗涤法的情况下,如何降低用水量以及降低风阻,并同时提升空气的清洗效率为水洗装置改善的重点,也是本领域技术人员所欲解决的问题。

技术实现思路

[0014]本申请所要解决的技术问题在于提供一种水洗过滤装置,通过过滤件中具有毛细纤维的片状材料来增加液体跟气体的碰撞机率,并进一步通过毛细纤维上的纳米结构物来移除气体中的有害物质,以达到降低用水量以及降低风阻,并同时提升空气的清洗效率的效果。
[0015]为了达到上述的目的,本申请揭示了一种水洗过滤装置,其包含:一水洗腔室,该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口;至少一过滤件,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该进气口的上方;一洒水装置,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该至少一过滤件的上方,该洒水装置包含一管路以及至少一喷头,该管路穿设于该水洗腔室,该管路的下方连接该至少一喷头;以及一挡水件,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该出气口及该洒水装置之间;其中,一气体经由该进气口进入该水洗腔室,并且通过该至少一过滤件,再者,一液体经由该管路进入该水洗腔室,并以该至少一喷头喷洒于经过该至少一过滤件的该气体后,该气体通过该挡水件,并经由该出气口排出该水洗腔室。
[0016]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,更包含一液体供应装置,其连通该管路的一端,该液体供应装置输送该液体进入该管路。
[0017]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,更包含一排水装置,其设置于该至少一过滤件的下方,该排水装置是用以排出经过该至少一过滤件的该液体。
[0018]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,更包含一送风装置,其设置于该进气口的一侧,该送风装置抽送该气体进入该水洗腔室。
[0019]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,更包含一抽风装置,其设置于该出气口的一侧,该抽风装置抽送经过该挡水件的该气体离开该水洗腔室。
[0020]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,其中该至少一过滤件是包含多个片状材料,该些个片状材料的表面具有多个毛细纤维。
[0021]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,其中该些个毛细纤维的材质为一玻璃纤维、一塑化纤维、一陶瓷纤维或一金属纤维。
[0022]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,其中该些个毛细纤维织表面进一步包含一纳米结构物。
[0023]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,其中该纳米结构物的材质为一二氧化硅、一二氧化钛、一氧化镁、一氧化钙或一氧化锌。
[0024]本申请提供一实施例,其内容在于水洗过滤装置,其中该些个片状材料的表面为一平面型表面、一波浪型表面或一三角形表面。
[0025]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容,配合图式说明如下。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0027]图1是本申请的第一实施例的结构示意图;
[0028]图2A

图2C是本申请的第一实施例的片状材料的结构示意图;以及
[0029]图3是本申请的第二实施例的结构示意图。
[0030]符号说明...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水洗过滤装置,其特征在于,包含:一水洗腔室,该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口;至少一过滤件,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该进气口的上方;一洒水装置,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该至少一过滤件的上方,该洒水装置包含一管路以及至少一喷头,该管路穿设于该水洗腔室,该管路的下方连接该至少一喷头;以及一挡水件,其设置于该水洗腔室的内侧,并位于该出气口及该洒水装置之间;其中,一气体经由该进气口进入该水洗腔室,并且通过该至少一过滤件,再者,一液体经由该管路进入该水洗腔室,并以该至少一喷头喷洒于经过该至少一过滤件的该气体后,该气体通过该挡水件,并经由该出气口排出该水洗腔室。2.根据权利要求1所述的水洗过滤装置,其特征在于,更包含一液体供应装置,其连通该管路的一端,该液体供应装置输送该液体进入该管路。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈建凯
申请(专利权)人:奇鼎科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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