【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟清洗系统
[0001]本技术涉及电池制造
,具体为一种石墨舟清洗系统。
技术介绍
[0002]在新型PECVD技术的发展下,膜层结构越来越复杂,导致石墨舟的清洗难度大大提高。原因在于镀膜沉积的过程需要使用到石墨舟作为载体,电池片借助石墨舟固定放置至在高温炉管中借助微波或射频作用下,在高温高电压下石墨舟具有较强的导电作用,将固定相邻的电池片之间形成电场,将通入的特气电离成等离子体,其反应沉积在电池片表面,形成氮化硅及氮氧化硅膜。在此过程中石墨舟表面也镀上氮化硅及氮氧化硅膜,因此需要对石墨舟进行清洗后才能重复利用。
[0003]现有技术中,申请号为“201920289015.2”的一种石墨舟清洗设备,包括清洗槽体,设于所述清洗槽体内的多个用于放置石墨舟并对所述石墨舟进行处理的工位,用于搬运所述石墨舟的机械手,控制所述机械手将所述石墨舟在各个工位之间搬运的控制系统,该石墨舟清洗设备内部采用机械手来进行搬运,减少了人工操作,降低了操作人员的劳动强度,提高了工作效率,此外,外部采用上下料小车来上下料,方便了用户 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟清洗系统,其特征在于,包括:酸洗槽组(1),所述酸洗槽组(1)中包括多个酸洗槽(101);喷淋槽(2),用于对石墨舟及夹持石墨舟的机械臂进行喷淋冲洗;水洗槽组(3),所述水洗槽组(3)中包括多个水洗槽(301);慢提槽(4),用于去除石墨舟表面的金属离子;以及所述酸洗槽组(1)、喷淋槽(2)、水洗槽组(3)和慢提槽(4)顺次排列,所述酸洗槽(101)、喷淋槽(2)、水洗槽(301)和慢提槽(4)的底部均设置有底板(5),所述底板(5)呈漏斗型,用于排出沉淀物。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗系统,其特征在于:所述底板(5)的底部均设置有药液排放管(6),所述药液排放管(6)上设置有药液排放阀门(7)。3.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗系统,其特征在于:所述酸洗槽(101)、喷淋槽(2)、水洗槽(301)和慢提槽(4)中均设置有电导率监控仪(8)。4.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗系统,其特征在于:所述酸洗槽(101)之间通过第一连通管(9)相连通,位于同一所述酸洗槽组(1)的酸洗槽(101)上至少设置有三路酸洗槽进液管(10)和一路酸洗槽溢流管(11)。5.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗系统,其特征在于:至少一个所述酸洗槽(101)和水洗槽(301)中活动设置有L型硬质板(12),所述L型硬质板(12)上开设有第一导风通道(13)和第二导风通道(14),所述第一导风通道(13)连通于L型硬质板(12)表面设置的鼓泡突出管(15),所述第二导风通道(14)连通于鼓泡板(16),所述鼓泡板(16)和L型硬质板(12)相固定,所述鼓泡板(16)上开设有多个气孔(17),所述L型硬质板(12)远离鼓泡板(16)的一侧固定设置有汇流管(18),所述汇流管(18)中固定设置有第一气缸(...
【专利技术属性】
技术研发人员:范洵,朱浩,蒋柱,万柳斌,彭彪,
申请(专利权)人:通威太阳能安徽有限公司,
类型:新型
国别省市:
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