一种在线式超纯流体加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种在线式超纯流体加热器，涉及半导体技术领域。包括加热器本体和外壳，外壳的上方设置有接线盒，外壳的两侧面分别设置有进口和出口，外壳的底部设置有排液口，进口和出口均通过流体直通与外壳相连，流体直通的一侧设置有流体管道，外壳的内部设置有内管道，内管道的表面缠绕设置有加热元件。该在线式超纯流体加热器，通过设置超温传感器，超温传感器的信号与加热器本体的电源互锁，在检测到加热元件的温度超过设定值时，切断加热元件的电源，保证整个加热器本体的安全，在加热器本体的内部仍具有多组监测加热温度的传感器，也与加热器本体的电源进行互锁，进一步避免加热器本体故障而导致整个制程流体介质被污染。体介质被污染。体介质被污染。

【技术实现步骤摘要】
一种在线式超纯流体加热器


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种在线式超纯流体加热器。

技术介绍

[0002]在半导体行业、医疗设备制造行业中，保持流体介质的超高纯度是一种非常重要的工艺，通常使用一种具有密封材料包裹的浸入式加热器，对制程工艺流体如超纯水、强酸或腐蚀性溶液进行加热，保证制程流体的超高纯度不受环境的污染在半导体行业缩小制程工艺中是极其重要的。
[0003]通常制程流体的加热器会采用一种惰性塑料(PFA或者PTFE)来包裹住金属电热合金材料，避免金属离子或者其他污染物浸入流体介质中，来保证制程流体的超高纯度，在对强酸或者腐蚀性流体进行加热时，惰性塑料封装工艺还能保证金属电热合金不受损坏，但是惰性塑料的使用温度上限只有约250℃，如果在没有流体的情况下通电，加热器会因为没有流体来带走过多的热量而损坏包裹加热丝的惰性塑料，让金属加热丝直接在制程流体中，对整个制程流体管道造成污染，造成巨大的损失。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种在线式超纯流体加热器，具备保证了加热流体的超高纯度等优点，以解决现有的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体(1)和外壳(2)，其特征在于：所述外壳(2)的上方设置有接线盒(3)，所述外壳(2)的两侧面分别设置有进口(9)和出口(10)，所述外壳(2)的底部设置有排液口(11)，所述进口(9)和出口(10)均通过流体直通(4)与外壳(2)相连，所述流体直通(4)的一侧设置有流体管道(8)，所述外壳(2)的内部设置有内管道(12)，所述内管道(12)的表面缠绕设置有加热元件(13)，所述流体管道(8)的表面设置有传感器支架(7)，所述传感器支架(7)的顶部设置有流体传感器(6)；所述接线盒(3)的上方依次设置有加热元件接线端(15)、超温传感器接线端(16)、温控传感器接线端(17)、超温熔断器接线端(18)以及接地端(19)，所述加热元件接线端(15)包括延长管(14)和接线直通(5)，所述延长管(14)的内部设置有加热元件导线(20)和加热元件(13)，所述超温传感器接线端(16)包括延长管(14)和超温传感器(21)，所述超温传感器接线端(16)位于加热元件接线端(15)的另一端，所述温控...

【专利技术属性】
技术研发人员：季斌，郭鑫斌，赵东，
申请(专利权)人：江苏昌耐能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：