下载一种在线式超纯流体加热器的技术资料

文档序号:32074430

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本实用新型公开了一种在线式超纯流体加热器,涉及半导体技术领域。包括加热器本体和外壳,外壳的上方设置有接线盒,外壳的两侧面分别设置有进口和出口,外壳的底部设置有排液口,进口和出口均通过流体直通与外壳相连,流体直通的一侧设置有流体管道,外壳的内...
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