放射线图像拾取设备制造技术

技术编号:3206863 阅读:149 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种放射线图像拾取设备,与匣表面罩部件对应的部分是使用不导电材料而形成的。构造是使用绝缘物质、绝缘板构件和绝缘堰构件而塑模的,以覆盖活性矩阵衬底上的整个放射线敏感半导体和电压施加电极。从匣的外框至电压施加电极的边缘的区域由屏蔽构件来屏蔽,以从绝缘板构件上方覆盖除电压施加电极正上方的部件以外的其他任何区域。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于医学领域、工业领域、核子领域等、带有直接变换型放射线检测部件的放射线图像拾取设备,并具体涉及改进放射线图像拾取设备的S/N比的技术。
技术介绍
放射线(例如X射线)检测器包括首先将放射线(例如X射线)变换成光、然后通过光电变换再将提供的光变换成电信号的间接变换型,和由放射线敏感半导体将入射放射线直接变换成电信号的直接变换型。后面的直接变换型放射线检测部件将预定的偏置电压施加于形成在放射线敏感半导体表面上的电压施加电极,并从形成在半导体后侧的载波收集电极收集随放射线的入射而产生的载波,并接着取出载波作为电信号,由此检测放射线。具体地,为了使用如无定形(amorphous)硒的无定形半导体作为放射线敏感半导体,该无定形半导体容易由真空蒸发法等形成为大面积的厚膜,并因此适于形成需要大面积的二维阵列放射线检测部件。如图8所示,相关
中的二维阵列放射线图像拾取设备包括具有活性矩阵衬底6、放射线敏感半导体7、电压施加电极8、LSI芯片9、信号处理电路10和可拆卸金属丝膜11的放射线检测部件。活性矩阵衬底6以用于各单位单元的蓄电电容器、电荷读取开关元件、像素电极而形成,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线图像拾取设备,包括:    放射线检测部件,其包括活性矩阵衬底,形成在所述活性矩阵衬底上的放射线敏感半导体和形成在所述半导体上的电压施加电极,所述活性矩阵衬底包括用于各单位单元的蓄电电容器、电荷读取开关元件和像素电极,其信号线和扫描线像栅格那样置于所述衬底上;和    匣子,用来将所述放射线检测部件保持于其内,    其中,至少所述电压施加电极正上方的部件在其对着电压施加电极的所述匣子的表面罩部件中是由不导电材料形成的。

【技术特征摘要】
JP 2003-4-25 122258/031.一种放射线图像拾取设备,包括放射线检测部件,其包括活性矩阵衬底,形成在所述活性矩阵衬底上的放射线敏感半导体和形成在所述半导体上的电压施加电极,所述活性矩阵衬底包括用于各单位单元的蓄电电容器、电荷读取开关元件和像素电极,其信号线和扫描线像栅格那样置于所述衬底上;和匣子,用来将所述放射线检测部件保持于其内,其中,至少所述电压施加电极正上方的部件在其对着电压施加电极的所述匣子的表面罩部件中是由不导电材料形成的。2.如权利要求1所述的放射线图像拾取设备,其中所述匣子中除不导电材料部分以外的其他任何部分由导电材料形成。3.如权利要求1所述的放射线图像拾取设备,其中所述匣子的整个表面罩部件由不导电材料形成。4.如权利要求3所述的放射线图像拾取设备,其中所述匣子中除不导电材...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤贤治渡谷浩司
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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