电光装置及其制造方法以及电子设备制造方法及图纸

一种电光装置，由以下部分构成连接端子部：形成在基板上、并经过平坦化处理的第一绝缘膜；形成在该第一绝缘膜上、用于传送与外部电路的信号的第一导电膜；形成在该第一绝缘膜上、经过平坦化处理的第二绝缘膜；以及形成在该第二绝缘膜的与该第一导电膜相对应的区域上、到达该第一导电膜的开口部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如有源矩阵驱动的液晶装置、电子纸等电泳装置、EL(场致发光)显示装置等的电光装置及其制造方法。另外，本专利技术还涉及具备这种电光装置的电子设备。
技术介绍
迄今，已知一种在基板上备有排列成矩阵状的像素电极、连接在该各个电极上的薄膜晶体管(Thin Film Transistor以下称“TFT”)、以及连接在该各个TFT上且分别平行于行及列方向地设置的数据线及扫描线等，从而可进行所谓有源矩阵驱动的电光装置。在这样的电光装置中，除了上述以外，还备有与像素电极相对配置的相对电极、被夹持在像素电极及相对电极之间的液晶层、以及进而分别形成在像素电极及相对电极上的取向膜等，从而可进行图像显示。即，由取向膜而形成为规定的取向状态的液晶层内的液晶分子，根据在像素电极及相对电极之间设定的规定的电位差，适当地改变其取向状态，由此，可通过改变透过该液晶层的光的透射率来进行图像显示。在此情况下，特别是上述取向膜具有使未被施加电场的液晶分子维持规定的取向状态的作用。为了实现该作用，例如，广泛地采用由聚酰亚胺等高分子有机化合物构成取向膜、同时对其进行摩擦处理的方法。这里所谓摩擦处理，是指用缠绕在旋转金属辊等上的抛光布(研磨布)，按照一定方向对烧成后的取向膜表面进行摩擦处理。因此，高分子的主链会沿规定方向延伸，液晶分子沿该延伸方向排列。另外，上述的电光装置中的上述基板具有设置扫描线、数据线及像素电极等的像素显示区域；以及设置扫描线驱动电路、数据线驱动电路、将规定信号供给这些电路用的外部电路连接端子等的周边区域。可是，在现有的电光装置中存在以下问题。即，首先，上述的扫描线、数据线、像素电极及TFT，以构成层叠结构的方式形成在基板上。例如，按照靠近基板表面的优先顺序，TFT、扫描线、数据线及像素电极在各自之间夹持着层间绝缘膜并在垂直方向上重叠起来，从而构成上述的层叠结构。可是，在这样的结构中，例如，在形成TFT的区域及其以外的区域中，形成了层叠结构不同等、厚度厚的区域和薄的区域，其结果，在最上层产生阶梯差，在它上面形成的取向膜也产生阶梯差，成为发生显示不均的原因。可以认为，由于对取向膜进行摩擦处理时，抛光布的纤维尖端被上述阶梯差骚扰，结果遍及整个基板表面出现摩擦程度不均匀，所以液晶分子并未沿一定方向取向，因而产生该显示不均。顺便说一下，上述的所谓显示不均，具体地说，是发生沿摩擦方向的条纹状的不均匀，显示品质下降。因此，以往提出了这样一种结构在厚层区域中通过刻蚀形成槽，调节使薄层区域相对变厚的程度。可是，在这样的结构中，例如，在厚度不同的区域有多个的情况下，因为在各自的调整时必须进行刻蚀，所以刻蚀工序的次数增加，需要进行多次处理。可是，实际上由于工序变得复杂，进行多次处理不现实，只限于局部厚度的调节。因此，在现有的结构中，虽然在一部分、例如在端子区域中是平坦的，但从基板总体看仍然存在有阶梯差。另外，如果通过刻蚀形成槽，则有可能产生基底残余，它将成为引起布线之间短路的原因。另一方面，在现有的电光装置中还有以下问题。即，在上述的层叠结构中，由于上述外部电路连接端子，是用于谋求与用于将规定信号提供给数据线驱动电路或扫描线驱动电路的电路、或者用于将规定电位提供给相对电极的电源等设置在电光装置的外部的电路等的电性连接的端子，所以该外部电路连接端子必须具备暴露在外部的部分。可是，以上述的层叠结构为前提，为了取得使层间绝缘膜下的上述部分暴露在外部的结构，有必要在层间绝缘膜上向着该部分形成开口部。如果采用该方法，则与该开口部相对应地，层叠结构的最表面被制作成凹入那样的形状，结果就在该最表面上产生凹凸。并且，如果在这样的最表面上形成取向膜，则上述凹凸便被复制到该取向膜上，在该取向膜上也形成凹凸。其结果，摩擦该取向膜时，上述旋转辊随着位置的不同而受到不规则的力，将取向膜磨去的可能性增大。产生这样的磨削屑，如果该削屑残留在像素电极及相对电极之间，会妨碍与加载在两者之间的电位差相对应的理想的取向状态的实现(即，发生取向不良)，有可能造成图像品质下降(例如，发生漏光等)。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种通过尽可能地将厚度不同的区域消除而使取向膜上的阶梯差消失，或者使外部电路连接端子的形成区域尽可能地平坦，尽量避免产生在摩擦时产生的取向膜的磨削屑，从而能够显示品质更高的图像的电光装置及其制造方法。另外，本专利技术的目的还在于提供一种具备这样的电光装置的电子设备。本专利技术的第一电光装置，为解决上述问题，其特征在于由以下部分构成连接端子部形成在基板上、并经过平坦化处理的第一绝缘膜；形成在该第一绝缘膜上、用于传送与外部电路的信号的第一导电膜；形成在该第一绝缘膜上、经过平坦化处理的第二绝缘膜；以及形成在该第二绝缘膜的与该第一导电膜相对应的区域上、到达该第一导电膜的开口部。如果采用本专利技术的第一电光装置，则由于第一绝缘膜及第二绝缘膜例如通过CMP(化学机械研磨)处理等而被平坦化，所以其表面有非常高的平坦性。而且，由于在该第二绝缘膜上形成到达第一绝缘膜的开口部，从而构成连接端子部。这是因为，由于要对第一绝缘膜进行平坦化，所以在第一绝缘膜下面的层叠结构中，存在布线或电极的区域和不存在的区域中总厚度不同，为了在上层的第二绝缘膜上进行平坦化，所以必须将第二绝缘膜堆积得厚一些，从而进行平坦化。但是，如果采用本专利技术，则第二绝缘膜堆积得薄一些而进行平坦化也可以，能够很容易地降低连接端子区域的阶梯差，可实现降低成本等。而且，由于能够实现非常高的平坦性，所以能够减少总厚度不同的区域，另外，能够防止在对取向膜进行摩擦处理时，以上述凹凸为起因而产生磨削屑的事态的发生。而且，在本专利技术中能够显示品质更高的图像。在本专利技术的第一电光装置的一种形态中，具备配置在图像显示区域的开关元件、与该开关元件电性连接的数据线、以及与该开关元件电性连接的像素电极。还进一步具有，由与该像素电极的像素电位电性连接的像素电位侧电容电极、和隔着绝缘膜与该像素电位侧电容电极相对配置的固定电位侧电容电极构成的存储电容，和形成在该数据线的更上层上、与该固定电位侧电容电极电性连接的电容线。并且该电容线被形成在该第一绝缘膜上，该第一导电膜与该电容线的膜为同一膜。如果采用该形态，则即使因为将配置在图像显示区域中的开关元件、数据线、构成存储电容的电极、电容线这样的各要素层叠起来的结构，而使在存在布线或电极的区域和不存在的区域中总厚度的差增大，也可通过对第一绝缘膜及第二绝缘膜进行平坦化处理，实现制造成本的削减，并实现优异的平坦性。另外，在本专利技术的第一电光装置的一种形态中，在与该连接端子部相对应的该第一绝缘膜的下层，形成与层叠在该图像显示区域中的布线或电极的膜为同一膜的导电膜。如果采用该形态，则由于利用层叠在图像显示区域中的布线，所以能够谋求成本的降低，能弥补连接端子区域的层叠结构和图像显示区域的层叠结构的差。另外，在本专利技术的第一电光装置的一种形态中，优选该第一导电膜构成与用于与该外部电路连接的基板相连接的连接端子的表面。另外，在本专利技术的第一电光装置的一种形态中，优选该第二绝缘膜的上表面与该第一导电膜的上表面成为同一平面。在该形态中，由于不会产生第一绝缘膜和第二绝缘膜的阶梯差，所以能够防止在对取向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光装置，其特征在于，由以下部分构成连接端子部：形成在基板上、并经过平坦化处理的第一绝缘膜；形成在该第一绝缘膜上、用于传送与外部电路的信号的第一导电膜；形成在该第一绝缘膜上、经过平坦化处理的第二绝缘膜；以及　 　形成在该第二绝缘膜的与该第一导电膜相对应的区域上、到达该第一导电膜的开口部。

【技术特征摘要】
JP 2003-5-2 127315/2003;JP 2004-2-20 044660/20041.一种电光装置，其特征在于，由以下部分构成连接端子部形成在基板上、并经过平坦化处理的第一绝缘膜；形成在该第一绝缘膜上、用于传送与外部电路的信号的第一导电膜；形成在该第一绝缘膜上、经过平坦化处理的第二绝缘膜；以及形成在该第二绝缘膜的与该第一导电膜相对应的区域上、到达该第一导电膜的开口部。2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于，还进一步具备配置在图像显示区域的开关元件；与该开关元件电性连接的数据线；与该开关元件电性连接的像素电极；由与该像素电极的像素电位电性连接的像素电位侧电容电极、和隔着绝缘膜与该像素电位侧电容电极相对配置的固定电位侧电容电极构成的存储电容；以及形成在该数据线的更上层上、与该固定电位侧电容电极电性连接的电容线；该电容线被形成在该第一绝缘膜上，该第一导电膜与该电容线的膜为同一膜。3.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于在与该连接端子部相对应的该第一绝缘膜的下层，形成与层叠在该图像显示区域中的布线或电极的膜为同一膜的导电膜。4.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于该第一导电膜构成与用于与该外部电路连接的基板相连接的连接端子的表面。5.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于该第二绝缘膜的上表面与该第一导电膜的上表面成为同一平面。6.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于具有经由该第二绝缘膜的开口部而与该第一导电膜导通的第二导电膜。7.根据权利要求6所述的电光装置，其特征在于该第二导电膜构成与用于与该外部电路连接的基板相连接的连接端子部的表面。8.根据权利要求6所述的电光装置，其特征在于该第二绝缘膜的开口部由多个第一接触孔构成，该第一导电膜和该第二导电膜经由该第一接触孔而导通。9.根据权利要求8所述的电光装置，其特征在于该多个第一接触孔，以至少散布在该第一导电膜上的方式而被形成。10.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于该第一导电膜和与内部电路电性连接的布线导通。11.根据权利要求10所述的电光装置，其特征在于与该内部电路电性连接的布线被形成在该第一绝缘膜上，且与该第一导电膜为同一膜。12.根据权利要求10所述的电光装置，其特征在于与该内部电路电性连接的布线被形成在该第一绝缘膜的下层的第三绝缘膜上，并经由第二接触孔与该第一导电膜导通。13.根据权利要求12所述的电光装置，其特征在于该第二接触孔被形成在该第一导电膜的周边。14.根据权利要求13所述的电光装置，其特征在于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：村出正夫，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]