一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置制造方法及图纸

技术编号:32065346 阅读:29 留言:0更新日期:2022-01-27 15:15
本实用新型专利技术具体涉及一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,其特征在于,包括第一导电块、第二导电块,第二导电块位于第一导电块的上端面,其两者结合处形成台阶结构,第一导电块和第二导电块分别设有纵向的螺孔和第一通孔,第一导电块的上端还设有带有第二通孔的紧固块,第一通孔内设有与其相匹配的陶瓷绝缘套,陶瓷绝缘套还设有纵向的第三通孔。本实用新型专利技术的有益效果是:间接增大钼舟与电极的接触面积,避免两者之间因接触面积小易造成的局部过流致使紧固螺丝出现过流打火现象,保证了钼舟的安全使用和使用寿命。舟的安全使用和使用寿命。舟的安全使用和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置


[0001]本技术属于真空镀膜装置领域,具体涉及一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置。

技术介绍

[0002]卷绕式真空镀膜机蒸发系统的蒸发是指利用镀膜材料熔融气化,在被镀物沉积的过程,这一蒸发过程主要是采用电阻加热蒸发方式,它的工作方式是,将钼舟(即蒸发源)安装在两个电极中间,电极通电,电流通过钼舟加热,使输送到钼舟上的镀膜材料熔融气化形成蒸汽,蒸汽沉积到被镀物表面形成铝层,这就是一个完整的真空镀膜过程。在这个镀膜过程中,为了保证蒸发效率,施加给钼舟的电流非常大,因此固定钼舟和固定铜支架的紧固螺栓容易出现过流打火问题,出现过流打火钼舟就会迅速烧坏,造成较大的成本浪费,影响产品质量稳定性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于解决现有钼舟紧固方式容易出现过流打火烧坏钼舟的问题,提供一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,本技术改变了钼舟用螺丝紧固的方式直接与电极连接,应用电流传导效果好的导电块连接两者,间接增大钼舟与电极之间的接触面积,防止局部过流,配合绝缘结构,防止紧固螺栓与导电块之间因接触不良造成过流打火。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的方案是:
[0005]一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,其特征在于,包括第一导电块、第二导电块,第二导电块的一端位于第一导电块的一端上端面,其两者结合处形成台阶结构,第一导电块和第二导电块分别设有纵向的螺孔和第一通孔,第一导电块的上端还设有带有第二通孔的紧固块,第一通孔内设有与其相匹配的陶瓷绝缘套,陶瓷绝缘套还设有纵向的第三通孔。
[0006]通过设置第一导电块及第二导电块作为传导介质分别连接钼舟与电极,因使用时第二导电块与电极接触面积较大,从而间接增大钼舟与电极的接触面积,改变传统钼舟与电极直接进行螺栓连接方式,因其两者之间接触面积小易造成的局部过流,出现过流打火现象而引起的钼舟烧毁。
[0007]通过设置陶瓷绝缘套可对第二导电块与其安装时用到的固定螺栓之间起到绝缘保护作用,避免使用时螺栓易出现的过流打火现象。
[0008]陶瓷绝缘套采用耐高温陶瓷制作。
[0009]进一步的,本技术的第一导电块、第二导电块及紧固块材质优选但不限于铜材质。
[0010]选用铜材质作为导电机构其具有良好的导电性能。
[0011]进一步的,所述陶瓷绝缘套为T型,包括上方的环状部和下方的筒状部,环状部的
外径大于第一通孔的内径,环状部位于第二导电块的上端面,筒状部位于第一通孔内,其高度小于第二导电块的高度。
[0012]陶瓷绝缘套设为T型使其与第二导电块紧密贴合绝缘效果好,其筒状部的高度小于第二导电块的高度可保证第二导电块与电极充分紧密连接。
[0013]进一步的,筒状部小于第二导电块的高度为1mm。
[0014]筒状部小于第二导电块的高度为1mm可起到较好的绝缘效果同时使第二导电块与电极充分紧密连接。
[0015]本技术的有益效果是:结构合理、使用方便。本技术间接增大钼舟与电极的接触面积,不会出现过流打火现象,保证了钼舟的安全使用和使用寿命。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图;
[0017]图2为本技术导电块的立体结构示意图;
[0018]图3为本技术陶瓷绝缘套的立体结构示意图;
[0019]图4为本技术使用时的立体结构示意图。
[0020]图中1.第一导电块;2.紧固块;3.第二通孔;4.第二导电块;5.陶瓷绝缘套;6.第三通孔;7.螺孔;8.第一通孔;9.环状部;10.筒状部;11.第一螺栓;12.第二螺栓;13.电极;14.钼舟。
具体实施方式
[0021]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是,除非另有说明,本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0022]如图1、图2、图3所示:包括第一导电块1、第二导电块4,第二导电块4位于第一导电块1的上端面,其两者结合处为台阶结构,两者均为铜块,第一导电块1和第二导电块4分别设有纵向的螺孔7和第一通孔8,第一导电块1的上端还设有带有第二通孔3的紧固块2,还有一个与第一通孔8相匹配的陶瓷绝缘套5,陶瓷绝缘套5为T型,包括环状部9和筒状部10,筒状部10的高度小于第二导电块4高度1mm,并套设于第一通孔8内,环状部9位于第二导电块4的上端,陶瓷绝缘套5还设有纵向的第三通孔6。
[0023]使用方法:
[0024]使用时如图4所示,将钼舟14的两端分别置于第一导电块1的螺孔7上方,通过第一螺栓11穿过紧固块2的第二通孔3将第一导电块1与钼舟14锁紧固定,之后将第二导电块4置于电极13上端,将陶瓷绝缘套5的筒状部10放入第一通孔8中,通过第二螺栓12通过第三通孔6将第二导电块4与电极13连接固定。
[0025]以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方
案的范围,其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,其特征在于,包括第一导电块、第二导电块,第二导电块的一端位于第一导电块的一端上端面,其两者结合处形成台阶结构,第一导电块和第二导电块分别设有纵向的螺孔和第一通孔,第一导电块的上端还设有带有第二通孔的紧固块,第一通孔内设有与其相匹配的陶瓷绝缘套,陶瓷绝缘套还设有纵向的第三通孔。2.按照权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹连忠许立乾孙舰巩向泽巩坤
申请(专利权)人:山东泰宝包装制品有限公司
类型:新型
国别省市:

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