压电层及其形成方法和所述方法使用的加热装置、压电元件制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种可使铁电前驱体膜可靠脱脂并可获得良好结晶性的压电层的形成方法和其所使用的加热装置、以及具有良好结晶性的压电层和压电元件。本发明专利技术的压电层的形成方法包括：干燥工序，在衬底的下电极上至少形成一层铁电前驱体膜并使铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，在由接近栓支承的状态下对铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，将脱脂的铁电前驱体膜进一步烧结作为铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成压电层，并在进行脱脂工序时，调节热板与衬底之间的间隔，同时冷却与衬底的热板相反侧的空间温度，从而调节铁电前驱体膜的加热温度的工序。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及由铁电膜形成且用于构成压电元件的压电层的形成方法、压电层及压电元件，还涉及在对由压电层构成的铁电前驱体膜进行脱脂时所使用的加热装置。
技术介绍
具有由铁电膜形成的压电层的压电元件，由于具有自发极化、高介电常数、电光效应、压电效应、热电效应等，因此被应用于广泛的设备中，例如喷墨式记录头等。构成这种压电元件的铁电膜(压电层)例如通过溶胶-凝胶法来形成。即，在规定的衬底上，例如通过涂布有机金属化合物的溶胶来形成铁电前驱体膜，并将所述铁电前驱体膜加热到预定温度进行干燥、脱脂后，进而通过在高温下进行烧结使之晶化，由此获得铁电膜。这里，当对铁电前驱体膜进行脱脂时，需要将铁电前驱体膜加热到预定温度，作为此时所使用的加热装置，例如有下述装置通过在与热板相对的位置上可上下移动地设置的接近栓(proximity pin)来支承衬底，通过降低接近栓来调节衬底与热板之间的间隔，由此调节衬底的加热温度(例如，参见日本专利特开平6-181173号公报)。但是，如果使用这种加热装置来对铁电前驱体膜进行脱脂，则有时无法对铁电前驱体膜进行充分脱脂。即，由于为了安全等而将加热装置设置于外壳等的内部，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电层的形成方法，其特征在于，当形成由设置于衬底的一面侧的下电极、由设置于该下电极上的多层铁电膜所构成的压电层、以及设置于该压电层上的上电极构成的压电元件时，包括：　干燥工序，在所述衬底的所述下电极上形成至少一层铁电前驱体膜并使 该铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将所述衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，并在由接近栓支承的状态下对所述铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，对脱脂的铁电前驱体膜进一步进行烧结从而作为所述铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的所述铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成所述压电层，并且在进行所述脱脂工序时，调节所述热板与所述衬底之间的间隔，同时...

【技术特征摘要】
JP 2003-7-3 191247/20031.一种压电层的形成方法，其特征在于，当形成由设置于衬底的一面侧的下电极、由设置于该下电极上的多层铁电膜所构成的压电层、以及设置于该压电层上的上电极构成的压电元件时，包括干燥工序，在所述衬底的所述下电极上形成至少一层铁电前驱体膜并使该铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将所述衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，并在由接近栓支承的状态下对所述铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，对脱脂的铁电前驱体膜进一步进行烧结从而作为所述铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的所述铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成所述压电层，并且在进行所述脱脂工序时，调节所述热板与所述衬底之间的间隔，同时冷却所述衬底的与所述热板相反侧的空间的温度，从而调节所述铁电前驱体膜的加热温度的工序。2.如权利要求1所述的压电层的形成方法，其特征在于，第一次的脱脂工序包括第一工序，在使所述衬底与所述热板之间维持预定间隔的状态下对所述铁电前驱体膜进行脱脂；和第二工序，在使所述衬底与所述热板接触的状态下对所述铁电前驱体膜进行脱脂。3.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：横内俊昭，角浩二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]