一种在线式超纯流体加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体的外表面套接有汇流条，所述汇流条的外侧套接有加热元件接线端，所述外壳的上表面安装有进出水管道。将导电材料沉积在石英薄膜发热体的外表面，形成导电薄膜，石英薄膜发热体通过加热元件接线端进行电源的引入，能够在整个石英薄膜发热体的外侧的导电薄膜上均匀稳定的发热，当电气部分产生故障时，导电薄膜无法损坏熔融石英制成的石英薄膜发热体，从而能保证制程流体的超高纯度。的超高纯度。的超高纯度。

【技术实现步骤摘要】
一种在线式超纯流体加热器


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体是一种在线式超纯流体加热器。

技术介绍

[0002]在半导体行业、医疗设备制造行业中，保持流体介质的超高纯度是一种非常重要的工艺，许多这些过程需要运输和加热去离子水、酸和其他化学品，所谓清洁或超纯是指气体或液体不能渗入、进入或离开管道系统，产生超过允许水平的污染物，其他行业可能需要百万分之一的纯度，而半导体行业可能需要万亿分之一的纯度。
[0003]但是，传统的浸入式加热器将加热元件(通常包裹在涂层中)直接放入制程流体中，然后将加热元件和过程流体包含在套管内，浸入式加热器中的温度瞬变可能会使套管过热达到熔点，套管的故障可能直接导致制程流体的金属或其他污染。

技术实现思路

[0004]针对现有的问题，本技术提供一种在线式超纯流体加热器，该装置组件包括石英薄膜发热体、导电薄膜、汇流条配合使用可以有效的解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体(1)，其特征在于，所述加热器本体(1)的中部设置有外壳(2)，所述外壳(2)的内部设置有石英薄膜发热体(10)，所述石英薄膜发热体(10)的外表面设置有导电薄膜(18)，所述导电薄膜(18)的上下两侧位于所述石英薄膜发热体(10)的外表面套接有汇流条(19)，所述汇流条(19)的外侧套接有加热元件接线端(15)，所述外壳(2)的上表面安装有进出水管道(6)，所述进出水管道(6)的上端安装有进出水接头(3)，所述进出水管道(6)的外侧设置有传感器底座(4)，所述传感器底座(4)的侧表面设置有液位传感器(5)。2.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述石英薄膜发热体(10)与所述加热器本体(1)之间设置有温度传感器(12)，所述温度传感器(12)的下方位于设置有超温传感器(13)，所述温度传感器(12)以所述石英薄膜发热体(10)的中心为轴线对称设置有超温熔断器(11)，所述外壳(2)的下表面安装有漏液传感器(14)，所述超温熔断器(11)、所述温度传感器(12)及所述超温传感器(13)的端部位于所述外壳(2)的侧表面均设置有数...

【专利技术属性】
技术研发人员：季斌，郭鑫斌，赵东，
申请(专利权)人：江苏昌耐能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：