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本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体...
该专利属于江苏昌耐能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏昌耐能源科技有限公司授权不得商用。

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