搭配在单轴机器人上的搬运治具制造技术

本实用新型专利技术涉及机械手技术领域，特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。本装置集扫片、取放片、刻度标定于一体，有效提升了使用效率。有效提升了使用效率。有效提升了使用效率。

【技术实现步骤摘要】
搭配在单轴机器人上的搬运治具


[0001]本技术涉及机械手
，特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。

技术介绍

[0002]在晶圆生产流程中，晶圆片的搬运是十分普遍和重要的环节。由于晶圆片本身的厚度薄、质量轻、易划伤、成本高，所以在搬运过程中就需要非常稳定与准确。在传统的晶圆搬运流程中，一般是使用晶圆手臂搭载末端手指也叫牙叉来实现一动作，而在搬运前，需要特定的传感器来检测晶圆片的具体位置，以便于晶圆手臂取放时找准位置，这一工序叫做“扫片”。传统的扫片功能是通过单独安装在手臂上的传感器，或者通过安装在晶圆盒上的传感器来实现，这就要求手臂在“扫片”和“取放片”时，需要各自以各自的动作来实现功能。这样会造成整体运行时间偏长，效率较低。

技术实现思路

[0003]本技术为了有效的解决上述
技术介绍
中的问题，提出了一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。
[0004]具体技术方案如下：
[0005]一种搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于：包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于：包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。2.根据权利要求1所述的搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于，所述手指的承载面...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛嵩，迟萍萍，王晓楠，
申请(专利权)人：天津龙创恒盛实业有限公司，
类型：新型
国别省市：