下载搭配在单轴机器人上的搬运治具的技术资料

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本实用新型涉及机械手技术领域,特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。包括晶圆手臂和安装在其末端的手指,所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘,左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧,中吸盘设置在承载面的中部,分别与手指内部的气路相连接,气路...
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