【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种，特别是关于一种改良压电层形成方式的。
技术介绍
喷墨打印技术的主要运作原理分为热泡式(Thermal bubble)及压电式(Piezoelectric)两类。热泡式是利用加热器将墨水瞬间气化，产生高压气泡推动墨水从喷嘴射出。压电式是利用施加电压方式使压电陶瓷产生形变，使其挤压墨水而产生高压，进而将墨水喷出。相比之下，压电式喷墨头具有下列优点(1)压电式不会因为高温气化而产生化学变化，因此具有极佳的耐久性。(2)压电陶瓷反应速度快，不会受限于热传导速度，因此可提升打印速度。(3)压电式容易控制液滴的大小，可提高打印品质。然而，已知的压电喷墨头技术大多采用积层陶瓷共烧法形成压电层，其成型方式包含粉末原料PZT(例如ZrO2、PbO、TiO2、其它适当添加物)的合成、混合、干燥、煅烧、粉碎、造粒、成型、烧结以及极化作用等步骤，且需精密对位才能成型，其制作过程繁琐复杂、困难度及投资设备都很高。因此，现在逐渐开发以硅为基底的压电喷墨头制作方法。例如，压电层的制作方式主要可分为两类方式厚膜成形法以及薄膜成形法。厚膜成形法是通过网印法或积层陶瓷堆叠方式...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，包括提供一基底，具有相对的一第一表面及一第二表面；在所述第一表面上形成一图案化第一导电层，以做为一下电极；在所述第一表面上形成一压电层并覆盖所述第一导电层；在所述压电层上形成一保护层；在所述保护层上形成一图案化第二导电层且与所述第一导电层相对应，以做为一上电极；以及定义所述保护层及所述压电层，使成为一金属、压电、保护、金属堆叠层结构。2.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述基底是一单晶硅基底。3.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述第一导电层是Ag-Pd合金、Pt或Au。4.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述压电层是高温烧结材料以及所述保护层是低温烧结材料。5.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，形成所述压电层是用厚膜制作以及形成所述保护层是用薄膜制作。6.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述压电层是用锆-钛酸铅(PZT)材料所制成。7.如权利要求6所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述锆-钛酸铅(PZT)材料是以刮刀成型法、网印法或转印法所制成。8.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述保护层是以锆-钛酸铅(PZT)材料或含低温烧结材料的锆-钛酸铅(PZT)所制成。9.如权利要求8所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述低温烧结材料是氧化锌或氧化锆。10.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述保护层是用溶液-凝胶(sol-gel)法所制成。11.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述保护层是用含微粉的溶液-凝胶(sol-gel)法所制成。12.如权利要求11所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述微粉的材料是锆-钛酸铅(PZT)、氧化锌或氧化锆微粉。13.如权利要求11所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述微粉粒径小于1微米。14.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，所述第二导电层是Ag-Pd合金、Pt或Au。15.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，定义所述保护层及所述压电层步骤是利用激光切割、干式蚀刻或湿式蚀刻技术。16.如权利要求1所述的压电式喷墨头的制作方法，其特征在于，还包括下列步骤蚀刻所述基底的第二表面，形成一凹槽对应于所述金属、压电、保护、金属堆叠层结构，其特征在于，所述凹槽做...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志明，蔡志昌，
申请(专利权)人：飞赫科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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