功能设备的制造方法、铁电体材料层的制造方法、场效应晶体管的制造方法和薄膜晶体管、场效应晶体管以及压电式喷墨头技术

本发明专利技术之一的功能设备的制造方法依次包括：功能固体材料前驱体层形成工序，通过在基材上涂布功能液体材料来形成功能固体材料的前驱体层；干燥工序，将前驱体层加热至80℃-250℃范围内的第一温度，以事先降低前驱体层的流动性；模压工序，在将前驱体层加热至80℃-300℃范围内的第二温度的状态下，对前驱体层施行模压加工，从而在前驱体层形成模压结构；功能固体材料层形成工序，将前驱体层以高于第二温度的第三温度进行热处理，由此从前驱体层形成功能固体材料层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种功能设备的制造方法、铁电体材料层的制造方法、场效应晶体管的制造方法和薄膜晶体管、场效应晶体管以及压电式喷墨头。
技术介绍
图65是用于说明现有薄膜晶体管900的图。现有薄膜晶体管900如图65所示，具备源极950以及漏极960 ;沟道层940，其位于源极950与漏极960之间；栅极920，其用于控制沟道层940的导通状态；栅极绝缘层930，其形成于栅极920与沟道层940之间，并由铁电体材料构成。此外，于图65中，附图标记910是表示绝缘基板。在现有薄膜晶体管900中，作为构成栅极绝缘层930的材料使用铁电体材料(例如BLT (Bi4^xLaxTi3O12)、PZT (Pb (ZrxTi1J O3))。此外，作为构成沟道层940的材料使用氧化物导电性材料(例如，铟锡氧化物(ITO))。若根据现有薄膜晶体管900，则由于作为构成沟道层的材料使用氧化物导电性材料，所以能够提高载流子浓度。此外，由于作为构成栅极绝缘层的材料使用铁电体材料，所以能以低驱动电压来快速地进行切换。其结果，能以低驱动电压来快速地控制大的电流。现有薄膜晶体管能以图66所示的现有薄膜晶体管的制造方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：下田达也，德光永辅，宫迫毅明，金田敏彦，
申请(专利权)人：独立行政法人科学技术振兴机构，
类型：
国别省市：