一种尺寸可调的软光阑及包括有该软光阑的调光组件制造技术

本发明专利技术公开了一种尺寸可调的软光阑及包括有该软光阑的调光组件，涉及激光加工技术领域，解决如何抑制衍射效应及如何调节光斑大小的问题，包括包括前盖，所述前盖的内侧依次与所述前盖同轴设置有纵向滑轨固定板、软光阑齿a组件、调节滑轨旋转件及后盖；本发明专利技术通过尺寸可调的软光阑设置，可以有效抑制激光光路中小孔光阑使用导致的衍射问题；将其应用于透镜组合滑轨系统中，可以在抑制衍射环的前提下改善激光光斑的圆度；可以对激光进行扩束和缩束，使所需光斑的大小、圆度得到灵活的调节，以提升激光加工质量；必要时还可以通过软光阑拦截生成圆形的近平顶光，适应不同的微加工需求。适应不同的微加工需求。适应不同的微加工需求。

【技术实现步骤摘要】
一种尺寸可调的软光阑及包括有该软光阑的调光组件


[0001]本专利技术涉及激光加工
，更具体的是涉及软光阑及其调光组件


技术介绍

[0002]目前，激光在科研、工业等很多领域得到应用。激光加工具有材料选择性好、加工精度高、加工指向性强的特性，在精密微加工领域已成为一大加工体系。在激光加工设备的光路中，激光束横截面的尺寸及圆度取决于激光器的输出特性，然而受限于现有激光技术，激光器输出的光斑圆度并不理想。在高精度加工中，常需要添加小孔光阑拦截光斑，达到缩小激光束的横截面积、改善光斑圆度的目的。但是传统的小孔为硬光阑，激光通过小孔后会产生较为严重的衍射现象，尤其在使用小孔缩小光斑面积时，不但会导致光斑被拦截部分的激光能量浪费，还会出现严重的衍射现象。衍射环不但会导致加工后材料底部不平，还会导致加工路径边缘凸起，影响精密微加工的加工质量。衍射效应还会使光斑中出现强心，在使用高功率激光器的情况下，强心的存在具有损坏光学元件的风险。
[0003]如何削弱激光通过小孔后的衍射效应是提升激光在科研以及工业应用效果的关键问题之一。现有商品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尺寸可调的软光阑，其特征在于，包括前盖(1)，所述前盖(1)的内侧依次与所述前盖(1)同轴设置有纵向滑轨固定板(2)、软光阑齿a组件(3)、调节滑轨旋转件(4)及后盖(5)，所述纵向滑轨固定板(2)上沿直径方向均匀设置有多个导轨槽a(6)，所述软光阑齿a组件(3)包括多个软光阑齿，多个所述软光阑齿错位放置并组成闭合圆环，圆环的内孔即通光孔(12)，每个所述软光阑齿靠近所述前盖(1)侧的外缘一侧面上设置有与所述导轨槽a(6)相配合的长条形台柱结构(7)，每个所述软光阑齿另一侧面设置有卡扣功能的与所述调节滑轨旋转件(4)相结合的圆柱组合结构(8)，所述前盖(1)、所述纵向滑轨固定板(2)及所述后盖(5)上相对应的分别设置有至少三个固定用的通孔(9)。2.根据权利要求1所述的一种尺寸可调的软光阑，其特征在于，所述调节滑轨旋转件(4)为中间带孔的环形饼状结构，所述调节滑轨旋转件(4)上设置有多个弧形导轨槽(13)，多个所述弧形导轨槽(13)与多个所述圆柱组合结构(8)相配合，所述调节滑轨旋转件(4)外周设置有一圈凸台结构(14)，所述凸台结构(14)的外侧设置有拨杆(15)；所述后盖(5)靠近所述前盖(1)的一侧设置有带缺口(18)的圆形轨道(16)，所述圆形轨道(16)的外侧设置有侧盖(17)，所述拨杆(15)穿过所述缺口(18)并延伸至所述后盖(5)的外侧，所述凸台结构(14)与所述圆形轨道(16)相配合。3.根据权利要求2所述的一种尺寸可调的软光阑，其特征在于，缺口(18)为扇形结构，扇形的圆心角为70
°
。4.根据权利要求1所述的一种尺寸可调的软光阑，其特征在于，相邻所述软光阑齿之间设置有100μm的重叠部分。5.根据权利要求1所述的一种尺寸可调的软光阑，其特征在于，每个所述软光阑齿包括一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄滟荻，宋成伟，杨亮，李国，刘峰，张春雨，陈前君，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：