定位单元和定位工作台制造技术

提供在一维或二维方向能高精度定位的定位单元和定位工作台。定位单元包含：固定于基板上的第一轨道；能够滑动地装配于该第一轨道且在侧面具备相对于基板垂直的倾斜面的第一滑动部件；联接到该第一滑动部件的直线运动驱动装置，设置于前述基板，驱动第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动；在前述基板上与第一轨道交叉地固定的第二轨道；以及能够滑动地装配于该第二轨道且在侧面具备相对于前述基板垂直的倾斜面的第二滑动部件，第一滑动部件与第二滑动部件配合为：通过它们的倾斜面互相接触的状态下因直线运动驱动装置的动作产生的第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动，第二滑动部件进行沿着轨道的后退前进运动。以及使用该定位单元的定位工作台。定位单元的定位工作台。定位单元的定位工作台。

【技术实现步骤摘要】
定位单元和定位工作台


[0001]本专利技术涉及也被称为对准台的定位工作台，而且特别涉及能够作为定位工作台的工作台移动机构有利地使用的定位单元。

技术介绍

[0002]从前，也被称为对准台的定位工作台一般作为用于进行如下工作的装置使用：进行各种材料的加工时在将该材料载置在平板（被称为工作台或载物台）上的状态下使其沿平面方向移动，在即定的位置停止后进行在该平板上的材料的加工。
[0003]在定位工作台的代表性的产品类型中，包含：在已载置材料的工作台向一维方向的移动和其后的加工中利用的一维方向移动工作台；在已载置材料的工作台在二维方向（平面方向）上的移动和其后的加工中利用的、被称为XY载物台或XYθ载物台的二维方向移动工作台；以及在已载置材料的工作台在三维方向（平面方向＋高度方向）上的移动和其后的加工中利用的、一般被称为XYZ载物台的三维方向移动工作台。
[0004]定位工作台通常由被称为工作台或载物台的平板以及一个或多个定位单元构成，该一个或多个定位单元装配于该平板，并具有使平板移动到既定的位置且在该位置停止和临时固定的功能。定位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定位单元，其包含：基板；第一轨道，其固定于该基板上；第一滑动部件，其能够滑动地装配于该第一轨道，并在侧面具备相对于基板垂直的倾斜面；直线运动驱动装置，其联接到该第一滑动部件，并设置于所述基板，驱动第一滑动部件沿着第一轨道的前进后退运动；第二轨道，其在所述基板上与第一轨道交叉地固定；以及第二滑动部件，其能够滑动地装配于该第二轨道，并在侧面具备相对于所述基板垂直的倾斜面，第一滑动部件与第二滑动部件配合为：通过它们的倾斜面互相接触的状态下因所述直线运动驱动装置的动作产生的第一滑动部件的前进后退运动，第二滑动部件进行沿着第二轨道的后退前进运动。2.根据权利要求1所述的定位单元，其中，第一滑动部件的侧面的倾斜面设为在与直线运动驱动装置侧相反的一侧靠近第一轨道的侧面这样的角度的倾斜面。3.根据权利要求1所述的定位单元，其中，平面部件装配于第二滑动部件的顶面。4.根据权利要求1所述的定位单元，其中，直线运动驱动装置由如下部件构成：在表面形成有螺旋槽的旋转轴；联接到该旋转轴的一个端部的马达；以及固定于所述基板且将所述旋转轴能够旋转地容纳支撑的旋转轴支撑件；第一滑动部件在其内部具有开口，该开口具有形成有与所述旋转轴的螺旋槽螺纹配合的螺旋槽的内周面，所述第一滑动部件构成为：通过所述直线运动驱动装置的马达的旋转，所述旋转轴在第一滑动部件的开口的内部旋转而使第一滑动部件前进后退。5.根据权利要求1所述的定位单元，其中，所述第一滑动部件的倾斜面和所述第二滑动部件的倾斜面各自具备作为一对而相互能够滑动的滑动件，第一滑动部件的倾斜面与第二滑动部件的倾斜面经由这些滑动件接触。6.一种一维方向定位工作台，其是在权利要求1至5中的任一项所述的定位单元的第二滑动部件的顶面载置工作台而成。7.一种一维方向定位工作台，其构成为：将权利要求1至5中的任一项所述的定位单元的基板在另外准备好的基盘上以沿着定位单元的第二轨道的方向扩展的形状配置固定，在该基盘上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本英司，高木研太朗，
申请(专利权)人：HEPHAIST株式会社，
类型：发明
国别省市：