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提供在一维或二维方向能高精度定位的定位单元和定位工作台。定位单元包含：固定于基板上的第一轨道；能够滑动地装配于该第一轨道且在侧面具备相对于基板垂直的倾斜面的第一滑动部件；联接到该第一滑动部件的直线运动驱动装置，设置于前述基板，驱动第一滑动部...
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