掩模夹具制造技术

提供了一种掩模夹具。所述掩模夹具可以包括：基体板，包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域；头部件，包括连接到基体板的边缘区域的第一表面，并且构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域；垫部件，设置在头部件的与头部件的第一表面背对的第二表面上。边缘区域可以包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上与第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在第二方向上延伸并且在第一方向上与第三边缘区域间隔开。一方向上与第三边缘区域间隔开。一方向上与第三边缘区域间隔开。

【技术实现步骤摘要】
掩模夹具
[0001]本申请要求在2020年7月23日提交的第10
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2020
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0091547号韩国专利申请的优先权，并且由该韩国专利申请获得所有权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。


[0002]在此专利技术的实施例涉及一种掩模夹具和一种包括该掩模夹具的掩模制造设备，更具体地，涉及一种被构造为对其中限定有沉积孔的掩模进行拉伸并且将掩模设置在掩模框架上的掩模夹具，并且涉及一种掩模制造设备。

技术介绍

[0003]显示面板包括多个像素。多个像素均包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。可以通过在基底上层压电极和发光图案而在基底上形成显示元件。使用其中限定有孔的掩模来将发光图案图案化为限定在预定的区域中。发光图案可以设置在被开口暴露的区域中。
[0004]近来，为了提高显示面板的产品良率，正在研发用于制造大面积掩模的设备和方法。

技术实现思路

[0005]专利技术的实施例提供了一种掩模夹具，该掩模夹具包括：基体板，包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域；头本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模夹具，所述掩模夹具包括：基体板，包括中心区域和围绕所述中心区域的边缘区域，所述边缘区域包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在所述第一方向上延伸并且在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在所述第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在所述第二方向上延伸并且在所述第一方向上与所述第三边缘区域间隔开；头部件，包括连接到所述基体板的所述边缘区域的第一表面，并且被构造为在所述边缘区域中移动以便靠近所述中心区域或远离所述中心区域，所述头部件包括：第一头部件，设置在所述第一边缘区域中并且在所述第一方向上延伸；第二头部件，设置在所述第二边缘区域中并且在所述第一方向上延伸；第三头部件，设置在所述第三边缘区域中并且在所述第二方向上延伸；以及第四头部件，设置在所述第四边缘区域中并且在所述第二方向上延伸，以及垫部件，设置在所述头部件的与所述头部件的所述第一表面背对的第二表面上。2.如权利要求1所述的掩模夹具，其中，所述垫部件包括：第一垫，设置在所述头部件的所述第二表面上并且所述第一垫中限定有多个第一孔；以及第二垫，设置为与所述第一垫邻近并且所述第二垫中限定有第二孔，其中，在平面图中，所述第二孔具有比所述多个第一孔中的任意一个第一孔的面积大的面积。3.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述第一垫和所述第二垫在一个方向上平行地延伸。4.如权利要求3所述的掩模夹具，其中，在平面图中，与所述第二垫邻近于所述中心区域相比，所述第一垫设置为更邻近于所述中心区域。5.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述第一垫的与所述基体板背对的第一表面和所述第二垫的与所述基体板背对的第一表面设置为彼此共面。6.如权利要求2所述的掩模夹具，其中：所述第一垫的面对所述基体板的第一表面和所述第一垫的与所述第一垫的所述第一表面背对的第二表面经由所述多个第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊豪，朴永浩，宋昇勇，李宁哲，崔玲硕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：