下载掩模夹具的技术资料

文档序号:32029366

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提供了一种掩模夹具。所述掩模夹具可以包括:基体板,包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域;头部件,包括连接到基体板的边缘区域的第一表面,并且构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域;垫部件,设置在头部件的与头部件的第一表面背对的第...
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