一种软膜夹具及其安装治具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件与第二杆件分别配置以固定软膜的第一侧部与第二侧部。第三杆件邻接于第二杆件。第三杆件与第一杆件分别位于第二杆件的相对二侧。第三杆件配置以透过第二杆件从软膜的第二侧部拉动软膜。弹性元件具有彼此相对的第一端与第二端分别设于第二杆件与第三杆件上。弹性元件配置以提供软膜拉力缓冲。通过将第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，即可将软膜逐步地从晶圆上分离，而可利用许多离膜动作来进行离膜操作。弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。保护软膜免于受损。保护软膜免于受损。
【技术实现步骤摘要】
软膜夹具及其安装治具
[0001]本揭露是有关于一种固定与分离软膜的技术。更特别是有关于一种软膜夹具及其安装治具。
技术介绍
[0002]应用于压印制程的软膜由一框架夹持。一般而言，框架包含四个杆件，且这些杆件彼此连接而形成矩形框架。软膜的四边分别固定在框架的这些杆件上。
[0003]压印制程完成后，需将软膜从晶圆上分离。在软膜的离膜操作中，仅可透过抬高框架的一侧的方式来从晶圆上分离软膜。这样的离膜操作对软膜的主动区上的图案结构造成相当大的冲击。图案结构容易受到离膜操作期间的拉力的损坏。
技术实现思路
[0004]因此，本揭露的一目的就是在提供一种软膜夹具，其使用第一杆件与第二杆件来分别夹持软膜的二相对侧部。于软膜的离膜操作期间，第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，如此软膜可逐步地从晶圆上分离。因此，可利用许多离膜动作来进行离膜操作。
[0005]本揭露的另一目的就是在提供一种软膜夹具，其包含透过至少一弹性元件与第二杆件连接的第三杆件，如此弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。
[0006]本揭露的又一目的就是在提供一种软膜夹具的安装治具，其可将夹具的第一杆件与第三杆件定位于平台上，以提供软膜所需的张力。利用二连杆来对应连接第一杆件的二端与第三杆件的二端，如此软膜可以所需张力平坦地固定在夹具上。因此，可轻易移动软膜与将软膜设置在制程设备上。
[0007]根据上述目的，本揭露提供一种软膜夹具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件配置以固定软膜的第一侧部。第二杆件配置以固定软膜的第二侧部，其中第二侧部与第一侧部相对。第三杆件邻接于第二杆件，其中第三杆件与第一杆件分别位于第二杆件的相对二侧，第三杆件配置以透过第二杆件从软膜的第二侧部拉动软膜。至少一弹性元件具有彼此相对的第一端与第二端分别设于第二杆件与第三杆件上，其中此至少一弹性元件配置以提供软膜拉力缓冲。
[0008]依据本揭露的一实施例，上述的至少一弹性元件包含数个弹簧。
[0009]依据本揭露的一实施例，上述的弹簧以一固定间距设于第二杆件与第三杆件之间。
[0010]依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于第三杆件上。
[0011]依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与第三杆件中的第一端部与相对于第一端部的第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。
[0012]依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中。第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。
[0013]依据本揭露的一实施例，上述的第一通孔与第二通孔的侧壁均具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部，其中这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。
[0014]依据本揭露的一实施例，上述的软膜为压印软膜。
[0015]根据上述目的，本揭露还提供一种软膜夹具的安装治具。此安装治具包含平台、挡墙、以及数个固定件。平台的一表面上设有第一固定部、以及与第一固定部相对的第二固定部及第三固定部。第一固定部、第二固定部、与第三固定部分别供软膜夹具的第一杆件、第二杆件、与第三杆件设置。挡墙设于平台的表面上，且介于第二固定部与第三固定部之间。挡墙具有至少一通道以容纳软膜夹具的至少一弹性元件。此至少一弹性元件的相对二端分别设于第二杆件与第三杆件上。固定件设于平台的表面上，且配置以将第一杆件与第三杆件固定在平台的表面上。
[0016]依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含承托台凸设于平台的表面上且介于第一固定部与第二固定部之间。承托台配置以支撑欲装设在软膜夹具的软膜。
[0017]依据本揭露的一实施例，上述的承托台还设有数个真空道，这些真空道配置以对软膜提供吸力。
[0018]依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含第一固定块以及第二固定块。第一固定块设于平台的表面上并邻近第一固定部。第一固定块配置以定位第一杆件。第二固定块设于平台的表面上并邻近第三固定部。第二固定块配置以与挡墙形成卡槽来做为第三固定部。
[0019]依据本揭露的一实施例，上述的平台还包含第一凹入部凹设于第一固定块与第一固定部中，以及第二凹入部凹设于第二固定块与第三固定部中。当软膜夹具放置在平台上时，第一杆件与第三杆件分别位于第一凹入部与第二凹入部上。
[0020]依据本揭露的一实施例，上述的至少一通道包含数个通道，上述的至少一弹性元件包含数个弹性元件，通道的数量与弹性元件的数量相同，这些通道以一固定间距设置。
[0021]依据本揭露的一实施例，上述的挡墙可朝第二固定部与第三固定部移动地设于平台的表面上。
[0022]依据本揭露的一实施例，上述的每个固定件包含卡钳。
[0023]依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与该第三杆件的相对的第一端部与第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。
[0024]依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。当软膜的相对二侧部分别夹设在安装治具上的第一杆件与第二杆件时，第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中，第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。
[0025]依据本揭露的一实施例，上述的每个第一通孔与些第二通孔的侧壁具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部。这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。
[0026]依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具配置以利用第一杆件与第二杆件来固定压印软膜。
[0027]应当理解的是，前面的一般描述与下面的详细描述均为例子，且意欲提供如所请求保护的专利技术进一步的解释。
附图说明
[0028]从以下参考所附附图所做的实施方式的详细描述，可对本专利技术有更充分的了解，所附附图的说明如下：
[0029]图1是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具的上视示意图；
[0030]图2A至图2D是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具的局部放大示意图；
[0031]图3是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具设置在安装治具上的示意图；
[0032]图4是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具从安装治具移开的示意图；
[0033]图5是绘示图3的部分A的放大示意图；以及
[0034]图6是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具设置在压印设备上的示意图。
[0035]【符号说明】
[0036]100:夹具
[0037]110:软膜
[0038]112:主动区
[0039]114:第一侧部
[0040]116:第二侧部
[0041]120:第一杆件
[0042]122:第一端部
[0043]124:第二端部
[0044]1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具包含：一第一杆件，配置以固定一软膜的一第一侧部；一第二杆件，配置以固定该软膜的一第二侧部，其中该第二侧部与该第一侧部相对；一第三杆件，邻接于该第二杆件，其中该第三杆件与该第一杆件分别位于该第二杆件的相对二侧，该第三杆件配置以透过该第二杆件从该软膜的该第二侧部拉动该软膜；以及至少一弹性元件，具有彼此相对的一第一端与一第二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上，其中该至少一弹性元件配置以提供该软膜一拉力缓冲。2.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该至少一弹性元件包含多个弹簧。3.根据权利要求2所述的软膜夹具，其特征在于，所述多个弹簧以一固定间距设于该第二杆件与该第三杆件之间。4.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于该第三杆件上。5.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，每一该第一杆件与该第三杆件中的一第一端部与相对于该第一端部的一第二端部分别具有一第一通孔与一第二通孔。6.根据权利要求5所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含：一第一连杆，其中该第一连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第一通孔中；以及一第二连杆，其中该第二连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第二通孔中。7.根据权利要求6所述的软膜夹具，其特征在于，每一所述第一通孔与所述第二通孔的一侧壁具有一第一卡掣部；以及每一该第一连杆与该第二连杆的所述端具有一第二卡掣部，其中所述第二卡掣部配置以与所述第一卡掣部对应卡合。8.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜为一压印软膜。9.一种软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具包含：一平台，其中该平台的一表面上设有一第一固定部、以及与该第一固定部相对的一第二固定部及一第三固定部，该第一固定部、该第二固定部、与该第三固定部分别供一软膜夹具的一第一杆件、一第二杆件、与一第三杆件设置；一挡墙，设于该平台的该表面上，且介于该第二固定部与该第三固定部之间，其中该挡墙具有至少一通道以容纳该软膜夹具的至少一弹性元件，该至少一弹性元件的相对二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上；以及多个固定件，设于该平台的该表面上，且配置以将该第一杆件与该第三杆件固定在该平台的该表面上。10.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含一承托台凸设于该平...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢芳万，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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