软膜夹具及其安装治具制造技术

一种软膜夹具及其安装治具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件与第二杆件分别配置以固定软膜的第一侧部与第二侧部。第三杆件邻接于第二杆件。第三杆件与第一杆件分别位于第二杆件的相对二侧。第三杆件配置以透过第二杆件从软膜的第二侧部拉动软膜。弹性元件具有彼此相对的第一端与第二端分别设于第二杆件与第三杆件上。弹性元件配置以提供软膜拉力缓冲。通过将第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，即可将软膜逐步地从晶圆上分离，而可利用许多离膜动作来进行离膜操作。弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。保护软膜免于受损。保护软膜免于受损。

【技术实现步骤摘要】
软膜夹具及其安装治具


[0001]本揭露是有关于一种固定与分离软膜的技术。更特别是有关于一种软膜夹具及其安装治具。

技术介绍

[0002]应用于压印制程的软膜由一框架夹持。一般而言，框架包含四个杆件，且这些杆件彼此连接而形成矩形框架。软膜的四边分别固定在框架的这些杆件上。
[0003]压印制程完成后，需将软膜从晶圆上分离。在软膜的离膜操作中，仅可透过抬高框架的一侧的方式来从晶圆上分离软膜。这样的离膜操作对软膜的主动区上的图案结构造成相当大的冲击。图案结构容易受到离膜操作期间的拉力的损坏。

技术实现思路

[0004]因此，本揭露的一目的就是在提供一种软膜夹具，其使用第一杆件与第二杆件来分别夹持软膜的二相对侧部。于软膜的离膜操作期间，第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，如此软膜可逐步地从晶圆上分离。因此，可利用许多离膜动作来进行离膜操作。
[0005]本揭露的另一目的就是在提供一种软膜夹具，其包含透过至少一弹性元件与第二杆件连接的第三杆件，如此弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具包含：一第一杆件，配置以固定一软膜的一第一侧部；一第二杆件，配置以固定该软膜的一第二侧部，其中该第二侧部与该第一侧部相对；一第三杆件，邻接于该第二杆件，其中该第三杆件与该第一杆件分别位于该第二杆件的相对二侧，该第三杆件配置以透过该第二杆件从该软膜的该第二侧部拉动该软膜；以及至少一弹性元件，具有彼此相对的一第一端与一第二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上，其中该至少一弹性元件配置以提供该软膜一拉力缓冲。2.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该至少一弹性元件包含多个弹簧。3.根据权利要求2所述的软膜夹具，其特征在于，所述多个弹簧以一固定间距设于该第二杆件与该第三杆件之间。4.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于该第三杆件上。5.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，每一该第一杆件与该第三杆件中的一第一端部与相对于该第一端部的一第二端部分别具有一第一通孔与一第二通孔。6.根据权利要求5所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含：一第一连杆，其中该第一连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第一通孔中；以及一第二连杆，其中该第二连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第二通孔中。7.根据权利要求6所述的软膜夹具，其特征在于，每一所述第一通孔与所述第二通孔的一侧壁具有一第一卡掣部；以及每一该第一连杆与该第二连杆的所述端具有一第二卡掣部，其中所述第二卡掣部配置以与所述第一卡掣部对应卡合。8.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜为一压印软膜。9.一种软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具包含：一平台，其中该平台的一表面上设有一第一固定部、以及与该第一固定部相对的一第二固定部及一第三固定部，该第一固定部、该第二固定部、与该第三固定部分别供一软膜夹具的一第一杆件、一第二杆件、与一第三杆件设置；一挡墙，设于该平台的该表面上，且介于该第二固定部与该第三固定部之间，其中该挡墙具有至少一通道以容纳该软膜夹具的至少一弹性元件，该至少一弹性元件的相对二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上；以及多个固定件，设于该平台的该表面上，且配置以将该第一杆件与该第三杆件固定在该平台的该表面上。10.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含一承托台凸设于该平...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢芳万，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：