大型触控感应图案的制造方法技术

本发明专利技术提供一种大型触控感应图案的制造方法，其包含以下步骤：将一拟制作的大型触控感应图案划分设置成多个分图并分别制成具有相映图案的光罩；提供一具有导电层的基材；在导电层上设置一感光阻剂层；第一曝光工艺，在感光阻剂层形成一曝光分图及多个靶标；接序曝光工艺，在该感光阻剂层形成一接序的曝光分图及多个靶标，该接序的曝光分图与前述原有的曝光分图彼此相邻地连接在一起；重复地实施所述接序曝光工艺，以在感光阻剂层上形成多个接序并接的曝光分图，直到并接组成一个整体曝光图案为止；对感光阻剂层上的该整体曝光图案进行显影；以及蚀刻该导电层以形成一个大型触控感应图案。应图案。应图案。

【技术实现步骤摘要】
大型触控感应图案的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种大型触控感应图案的制造方法，特别涉及一种将多个较小面积的曝光分图案并接组合成为一个大面积的整体曝光图案，再以该整体曝光图案蚀刻制成大型触控感应图案的制造方法。

技术介绍

[0002]触摸板已被广泛地应用于各式电子产品上，而搭配使用在具有大尺寸屏幕的触摸板，例如ATM提款机、机关场所的互助导览系统、百货公司的电子白板、车载触控装置以及其他各种工商业机具，在过去因受限于触摸板的产制技术及贴合良率等因素，这些需要触控应用的装置大都采成本低廉的是电阻式或成本高的声波式、外挂光学式的设计；然而由于人们已习惯智能手机、平板计算机的多点触控(Multitouch)功能的体验下，因此近来业者也积极研发中、大型屏幕的多点触控应用方案；目前应用10吋以上的中、大型的多点触控产品是以电容式触控技术为主，电容式触摸板通常包括一个基材、形成于基材上的导电层、形成于基材上并围绕导电层的遮光层及软性电路板。所述导电层通常使采用氧化铟锡(ITO)导电膜，通过黄光工艺(Photo Process)后蚀刻在所述导电层形成多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大型触控感应图案的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：将一拟制作的大型触控感应图案划分设置成多个分图，多个所述分图包括一第一分图及多个接序分图，并依多个所述分图分别制作成具有相映图案的多个光罩，且在多个所述分图的边缘部位包含有交叠图案部分；提供一具有导电层的基材；在所述导电层上设置一感光阻剂层，所述感光阻剂层对紫外光具有光敏性；第一曝光工艺，使用一第一光罩对所述感光阻剂层进行曝光，所述第一光罩具有第一分图模及多个靶标图模，所述第一分图模的图案相映于所述大型触控感应图案的所述第一分图，使用紫外光通过所述第一光罩对所述感光阻剂层照射，将所述第一光罩上的图案转移到所述感光阻剂层上，以形成一曝光分图及多个靶标；接序曝光工艺，以波长范围620nm~750nm的光源照明所述感光阻剂层的多个所述靶标进行定位操作，将所述感光阻剂层上的曝光分图与一接序光罩之间定位之后，使用所述接序光罩对所述感光阻剂层进行曝光，所述接序光罩具有一接序分图模及多个靶标图模，所述接序分图模的图案相映于所述大型触控感应图案的多个所述接序分图之一，使用紫外光通过所述接序光罩对所述感光阻剂层照射，将所述接序光罩上的图案...

【专利技术属性】
技术研发人员：白志强，林孟癸，刘荣汉，
申请(专利权)人：洋华光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：