海绵刷的更换工具和安装方法、半导体化学机械抛光设备技术

本发明专利技术涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的更换工具、安装方法以及半导体化学机械抛光设备。更换工具包括第一横梁、连接机构、第二横梁、第一卡勾和第二卡勾；第一横梁通过连接机构与第二横梁连接；第一卡勾与第一横梁固定连接，且第一卡勾的部分能够卡入海绵刷的凹陷端；第二卡勾与第二横梁固定连接，且第二卡勾的部分套设在海绵刷的凸出端；其中，第一横梁与第二横梁能够相对运动，以使第一卡勾、第二卡勾能够分别与海绵刷的凹陷端和凸出端相合或相分离。本方案可大大降低海绵刷在更换过程中被污染，且该更换工具上手简单，操作人员通过简单训练即可利用更换工具完成海绵刷的更换。换。换。

【技术实现步骤摘要】
海绵刷的更换工具和安装方法、半导体化学机械抛光设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的更换工具、适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的安装方法以及半导体化学机械抛光设备。

技术介绍

[0002]现阶段，在半导体化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，简称：CMP)工艺中，在晶圆研磨完成后，需要通过海绵刷搭配化学物质对晶圆进行清洁，目前海绵刷多通过操作人员徒手进行更换，容易对海绵刷造成污染，进而对海绵刷清洁能力造成影响。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供了一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的更换工具、适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的安装方法以及半导体化学机械抛光设备。
[0005]本专利技术第一方面提供了一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的更换工具，其特征在于，所述更换工具包括第一横梁、连接机构、第二横梁、第一卡勾和第二卡勾；所述第一横梁通过所述连接机构与所述第二横梁连接；所述第一卡勾与所述第一横梁固定连接，且所述第一卡勾的部分能够卡入海绵刷的凹陷端；所述第二卡勾与所述第二横梁固定连接，且所述第二卡勾的部分套设在所述海绵刷的凸出端；
[0006]其中，所述第一横梁与所述第二横梁能够相对运动，以使所述第一卡勾、所述第二卡勾能够分别与所述海绵刷的凹陷端和凸出端相卡合或相分离。
[0007]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述连接机构为合页机构；
[0008]所述合页机构包括第一连接片、转轴和第二连接片；所述第一连接片通过所述转轴与所述第二连接片转动连接；所述第一连接片与所述第一横梁连接；所述第二连接片与所述第二横梁连接。
[0009]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述连接机构为滑动机构，所述滑动机构包括滑动结构及复位弹簧；所述滑动结构设置在所述第二横梁上，且所述第一横梁开设有与所述滑动结构滑动配合的滑孔；所述复位弹簧的两端分别与所述第一横梁和所述第二横梁连接；其中，所述第一卡勾在所述滑动结构与所述滑孔相对滑动时能够向靠近或远离所述第二卡勾的方向移动。
[0010]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述滑动结构包括安装在所述第二横梁上的连杆和至少一组设置在所述连杆上的滑动组件；其中，
[0011]所述滑动组件包括滑动轴、第一限位片和第二限位片；所述滑动轴的一端安装在所述连杆上，另一端穿过所述滑孔；所述第一限位片限位在所述第一横梁靠近所述第二横
梁的一侧并套设在所述滑动轴上；所述第二限位片限位在所述第一横梁远离所述第二横梁的另一侧并与所述滑动轴连接。
[0012]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述第一卡勾包括具有一定夹角的第一平面部和第二平面部，以及连接所述第一平面部和所述第二平面部的弧形部；
[0013]其中，所述第一平面部、所述第二平面部和所述弧形部的外表面能够与所述海绵刷的凹槽端的内壁面贴合。
[0014]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述第二卡勾包括相互平行的第三平面部和第四平面部、以及连接所述第三平面部和所述第四平面部的第五平面部，所述第五平面部与所述第三平面部和所述第四平面部之间为圆弧过渡连接，其中，
[0015]所述第三平面部、所述第四平面部和所述第五平面部的内表面与所述海绵刷的凸出端的外壁面贴合。
[0016]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述更换工具为防腐结构。
[0017]本专利技术第二方面提供了一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的安装方法，所述安装方法包括：
[0018]将上述任一项所述的更换工具的第一卡勾卡入所述海绵刷的凹陷端和将所述更换工具的第二卡勾套设在所述海绵刷的凸出端，以夹持所述海绵刷；
[0019]通过移动所述更换工具，以使所述海绵刷的凹陷端搭在所述半导体化学机械抛光设备的从动轴上；
[0020]将所述更换工具的第一卡勾从所述凹陷端中脱离出来；
[0021]从所述更换工具的第二卡勾向所述第一卡勾施加驱动力，以使所述海绵刷的凹陷端与所述从动轴完全配合，并使所述海绵刷的凸出端装配在所述半导体化学机械抛光设备的主动轴上；
[0022]将所述更换工具的第二卡勾从所述凸出端上脱离出来。
[0023]在本专利技术的一种示例性实施例中，所述将所述更换工具的第一卡勾从所述凹陷端中脱离出来，包括：使所述第一横梁向远离所述海绵刷的方向转动，以使所述第一卡勾翘起并从所述海绵刷的凸出端脱离出来；或
[0024]所述将所述更换工具的第一卡勾从所述凹陷端中脱离出来，包括：使所述第一横梁向靠近所述从动轴的方向滑动，以使所述第一卡勾向远离所述第二卡勾的方向滑动并从所述海绵刷的凸出端脱离出来。
[0025]本专利技术第三方面提供了一种半导体化学机械抛光设备，其包括：主动轴、从动轴、海绵刷和上述任一项所述的更换工具；所述海绵刷具有凹陷端和凸出端，所述海绵刷通过所述更换工具以使其所述凹陷端和所述凸出端分别与所述从动轴和所述主动轴配合安装。
[0026]本专利技术提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0027]利用本专利技术所提供的更换工具对适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷进行更换，可避免在更换海绵刷时人为触碰而导致海绵刷被污染的情况，即：相比于操作人员徒手更换海绵刷的方案，本方案可大大降低海绵刷在更换过程中被污染的可能，从而可避免由于海绵刷污染而导致晶圆表面颗粒物残留的情况，提高了产品质量。此外，该更换工具上手简单，操作人员通过简单训练即可利用更换工具完成海绵刷的更换。
[0028]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不
能限制本专利技术。
附图说明
[0029]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1示出了本专利技术一实施例所述的更换工具与海绵刷的装配示意图；
[0031]图2示出了本专利技术一实施例所述的更滑工具的第一卡勾与海绵刷的凹陷端的装配示意图；
[0032]图3示出了本专利技术一实施例所述的更滑工具的第二卡勾与海绵刷的凸出端的装配示意图；
[0033]图4为现有技术中操作人员徒手更换海绵刷后，海绵刷清洁完的晶圆表面的示意图；
[0034]图5为本专利技术一实施例中采用更换工具更换海绵刷后，海绵刷清洁完的晶圆表面的示意图；
[0035]图6示出了本专利技术一实施例所述的更换工具在一视角下的平面示意图；
[0036]图7示出了本专利技术另一实施例所述的更换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体化学机械抛光设备中海绵刷的更换工具，其特征在于，所述更换工具包括第一横梁、连接机构、第二横梁、第一卡勾和第二卡勾；所述第一横梁通过所述连接机构与所述第二横梁连接；所述第一卡勾与所述第一横梁固定连接，且所述第一卡勾的部分能够卡入海绵刷的凹陷端；所述第二卡勾与所述第二横梁固定连接，且所述第二卡勾的部分套设在所述海绵刷的凸出端；其中，所述第一横梁与所述第二横梁能够相对运动，以使所述第一卡勾、所述第二卡勾能够分别与所述海绵刷的凹陷端和凸出端相合或相分离。2.根据权利要求1所述的更换工具，其特征在于，所述连接机构为合页机构；所述合页机构包括第一连接片、转轴和第二连接片；所述第一连接片通过所述转轴与所述第二连接片转动连接；所述第一连接片与所述第一横梁连接；所述第二连接片与所述第二横梁连接。3.根据权利要求1所述的更换工具，其特征在于，所述连接机构为滑动机构，所述滑动机构包括滑动结构及复位弹簧；所述滑动结构设置在所述第二横梁上，且所述第一横梁开设有与所述滑动结构滑动配合的滑孔；所述复位弹簧的两端分别与所述第一横梁和所述第二横梁连接；其中，所述第一卡勾在所述滑动结构与所述滑孔相对滑动时能够向靠近或远离所述第二卡勾的方向移动。4.根据权利要求3所述的更换工具，其特征在于，所述滑动结构包括安装在所述第二横梁上的连杆和至少一组设置在所述连杆上的滑动组件；其中，所述滑动组件包括滑动轴、第一限位片和第二限位片；所述滑动轴的一端安装在所述连杆上，另一端穿过所述滑孔；所述第一限位片限位在所述第一横梁靠近所述第二横梁的一侧并套设在所述滑动轴上；所述第二限位片限位在所述第一横梁远离所述第二横梁的另一侧并与所述滑动轴连接。5.根据权利要求1所述的更换工具，其特征在于，所述第一卡勾包括具有一定夹角的第一平面部和第二平面部，以及连接所述第一平面部和所述第二平面部的弧形部；其中，所述第一平面部、所述第二平面部和所述弧形部的外表面能够与所述海绵刷的凹槽端的内壁面贴合。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：党金伟，古进忠，韩岭峰，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：