一种品字形芯片的拼接方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本申请提供了一种品字形芯片的拼接方法、装置、电子设备及存储介质，所述拼接方法包括：基于已拼接标记点的序号，确定待拼接标记点所在的行；根据预设的行位置与线性回归方程的映射关系，确定出与待拼接标记点所在的行对应的线性回归方程；根据已拼接标记点的位置坐标、预设参数以及线性回归方程确定待拼接标记点的位置坐标。采用本申请提供的技术方案能够对待拼接芯片在拼接时通过已拼接芯片的位置确定线性回归方程，根据线性回归方程确定下一个拼接位置，使拼接的各行芯片始终保持在各自的拟合直线上，确保芯片拼接的精度，提高成品率。提高成品率。提高成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种品字形芯片的拼接方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本申请涉及半导体
，尤其是涉及一种品字形芯片的拼接方法、装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]在实际芯片拼接过程中由于人员、设备等各种因素的影响，前道工序固化的芯片实际位置并不完全等于预分析和优化计算得到的理想位置，并且随着拼接工艺的发展，各芯片位置误差会相互耦合并持续积累、传播，成为一种动态的误差，需要对其进行实时补偿。
[0003]目前，芯片拼接以手工操作为主，随机性较大，精度较低，同时，红外探测器拼接具有不可逆、成本高、风险大的特点，难以保证拼接的精度和成品率，因此，如何提高芯片拼接的精度和成品率，成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种品字形芯片的拼接方法、装置、电子设备及存储介质，能够对待拼接芯片在拼接时通过已拼接芯片的位置确定线性回归方程，根据线性回归方程确定下一个拼接位置，使拼接的各行芯片始终保持在各自的拟合直线上，确保芯片拼接的精度，提高成品率。
[0005]本申请主要包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种品字形芯片的拼接方法，其特征在于，所述拼接方法包括：基于已拼接标记点的序号，确定待拼接标记点所在的行；其中，所述已拼接标记点为与所述待拼接标记点的拼接次序相连且拼接顺序在所述待拼接标记点之前的拼接标记点；根据预设的行位置与线性回归方程的映射关系，确定出与所述待拼接标记点所在的行对应的线性回归方程；根据已拼接标记点的位置坐标、预设参数以及所述线性回归方程确定待拼接标记点的位置坐标。2.根据权利要求1所述的拼接方法，其特征在于，所述基于已拼接标记点的序号，确定待拼接标记点所处的行，包括：获取已拼接标记点的总标记序号以及所在行的分标记序号；根据所述分标记序号的奇偶性质以及预设的分标记序号与总标记序号的映射关系，确定已拼接标记点所在的行；根据已拼接标记点所在的行，确定待拼接标记点所在的行。3.根据权利要求1所述的拼接方法，其特征在于，通过以下步骤确定与行位置对应的线性回归方程：根据已拼接标记点所在的行，将已拼接标记点的位置坐标存入对应行的数组中；根据所述对应行的数组中已拼接标记点的位置坐标的个数，确定每行对应的线性回归方程，其中，所述数组中存储有与已拼接标记点所在行一致的各个历史拼接标记点对应的历史位置坐标。4.根据权利要求3所述的拼接方法，其特征在于，所述根据所述对应行的数组中已拼接标记点的位置坐标的个数，确定每行对应的线性回归方程的步骤，包括：若所述对应行的数组中已拼接标记点的位置坐标的个数小于预设阈值时，采用两点式获取线性回归方程；若所述对应行的数组中已拼接标记点的位置坐标的个数不小于预设阈值时，采用最小二乘法获取线性回归方程。5.根据权利要求1所述的拼接方法，其特征在于，所述根据已拼接标记点的位置坐标、预设参数以及所述线性回归方程确定待拼接标记点的位置坐标，包括：根据已拼接标记点的位置坐标和预设参数确定待拼接标记点的水平位置；将所述水平位置代入所述待拼接标记点所在的行对应的线性回归方程获得待拼接标记点的垂直位置；根据所...

【专利技术属性】
技术研发人员：左宁，周哲，刘伟，高慧莹，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：