一种用于晶圆划切机变频器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体生产设备领域，公开了一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体；所述壳体的顶端开设有出气孔，所述壳体的底部开设有进气孔，所述壳体靠近出气孔与进气孔的外表面均固定连接有过滤网，所述壳体靠近出气孔的内表面固定连接有C形架，所述C形架的外表面固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿C形架的外表面并固定连接有第一扇叶。通过电机带动第一扇叶转动，使第一扇叶转动并在壳体内产生负压，此时壳体内的压强将小于外界的压强，使得外界的气流可以通过进气孔进入到壳体内并从出气孔排出，以便对壳体内的电器元件进行散热降温，防止电器元件由于温度过高发生损毁。毁。毁。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆划切机变频器装置


[0001]本技术属于半导体生产设备领域，具体涉及一种用于晶圆划切机变频器装置。

技术介绍

[0002]划片机是集成电路后封装关键设备，其作用是将晶圆分割成单个的电路单元。划片机一般采用变频器来控制主轴运转的转速，以便实现高精度的强力磨削加工手段。
[0003]现有划片机中主要是通过变频器控制主轴的转速，从而调节主轴对不同晶圆的划切速度，以便确保对晶圆的划切精度；在变频器控制主轴转速时，其内部的电器元件需要不停的运作，从而使得变频器内部的温度会持续升高，如果不能及时的对变频器的内部进行降温，就会使变频器内部的电器元件由于温度过热而失灵甚至损毁。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于晶圆划切机变频器装置，通过对变频器的内部进行降温，防止变频器内部的电器元件发生损毁。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体；所述壳体的顶端开设有出气孔，所述壳体的底部开设有进气孔，所述壳体靠近出气孔与进气孔的外表面均固定连接有过滤网，所述壳体靠近出气孔的内表面固定连接有C形架，所述C形架的外表面固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿C形架的外表面并固定连接有第一扇叶。
[0006]优选的，所述壳体靠近进气孔的内表面固定连接有支撑架，所述支撑架的外表面通过转轴转动连接有第二扇叶，所述转轴远离第二扇叶的一端圆周固定连接有多个弧形刮刀。
[0007]优选的，所述壳体靠近进气孔的外表面固定连接有挡环。/>[0008]优选的，所述挡环与过滤网的侧壁之间形成一个集污槽。
[0009]优选的，所述集污槽的内部填充有海绵。
[0010]优选的，所述弧形刮刀的长度大于挡环的直径。
[0011]上述技术方案具有以下技术效果：
[0012]1、通过电机带动第一扇叶转动，使第一扇叶转动并在壳体内产生负压，此时壳体内的压强将小于外界的压强，使得外界的气流可以通过进气孔进入到壳体内并从出气孔排出，以便对壳体内的电器元件进行散热降温，防止电器元件由于温度过高发生损毁。
[0013]2、通过外界气体从进气孔进入到壳体内，使气流带动第二扇叶转动，当第二扇叶转动后，与其通过转轴固定连接的多个弧形刮刀将随之转动，使弧形刮刀将过滤网表面所粘附的杂质刮除，防止杂质堵塞住过滤网的网孔，影响气流的正常流通。
附图说明
[0014]图1为一种用于晶圆划切机变频器装置的整体结构示意图；
[0015]图2为一种用于晶圆划切机变频器装置的剖视结构示意图；
[0016]图3为一种用于晶圆划切机变频器装置的剖视结构示意图；
[0017]图4为一种用于晶圆划切机变频器装置的剖视结构示意图；
[0018]图5为图2中A处结构放大图；
[0019]图6为图3中B处结构放大图；
[0020]图7为图4中C处结构放大图。
[0021]其中：1、壳体；2、出气孔；3、进气孔；4、C形架；5、电机；6、第一扇叶；7、支撑架；8、第二扇叶；9、过滤网；10、弧形刮刀；11、挡环；12、转轴；13、集污槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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7，本技术提供的技术方案：一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体1；壳体1的顶端开设有出气孔2，壳体1的底部开设有进气孔3，壳体1靠近出气孔2与进气孔3的外表面均固定连接有过滤网9，壳体1靠近出气孔2的内表面固定连接有C形架4，C形架4的外表面固定连接有电机5，电机5的输出端贯穿C形架4的外表面并固定连接有第一扇叶6。
[0024]如此，通过电机5带动第一扇叶6转动，使第一扇叶6转动并在壳体1内产生负压，此时壳体1内的压强将小于外界的压强，使得外界的气流可以通过进气孔3进入到壳体1内并从出气孔2排出，以便对壳体1内的电器元件进行散热降温，防止电器元件由于温度过高发生损毁。
[0025]其中，请参阅图6，壳体1靠近进气孔3的内表面固定连接有支撑架7，支撑架7的外表面通过转轴12转动连接有第二扇叶8，转轴12远离第二扇叶8的一端圆周固定连接有多个弧形刮刀10。
[0026]如此，通过外界气体从进气孔3进入到壳体1内，使气流带动第二扇叶8转动，当第二扇叶8转动后，与其通过转轴12固定连接的多个弧形刮刀10将随之转动，使弧形刮刀10将过滤网9表面粘附的杂质刮除，防止杂质堵塞住过滤网9的网孔，影响气流的正常流通。
[0027]其中，请参阅图7，壳体1靠近进气孔3的外表面固定连接有挡环11。
[0028]如此，以便防止弧形刮刀10在过滤网9上刮除的杂质落入到过滤网9外围，使杂质再次落入到壳体1内参与气流的循环。
[0029]其中，请参阅图7，挡环11与过滤网9的侧壁之间形成一个集污槽13。
[0030]如此，以便对弧形刮刀10刮除的杂质进行收集。
[0031]其中，请参阅图7，集污槽13的内部填充有海绵。
[0032]如此，使得被推入到集污槽13内的杂质可以被海绵粘附，防止杂质再次落到壳体1内。
[0033]其中，请参阅图7，弧形刮刀10的长度大于挡环11的直径。
[0034]如此，使得弧形刮刀10在沿其弧面方向转动时，过滤网9上粘附的杂质可以被向弧形刮刀10的端面方向推动，使杂质可以被推入到集污槽13内进行收集。
[0035]本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0036]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体(1)；其特征在于：所述壳体(1)的顶端开设有出气孔(2)，所述壳体(1)的底部开设有进气孔(3)，所述壳体(1)靠近出气孔(2)与进气孔(3)的外表面均固定连接有过滤网(9)，所述壳体(1)靠近出气孔(2)的内表面固定连接有C形架(4)，所述C形架(4)的外表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端贯穿C形架(4)的外表面并固定连接有第一扇叶(6)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切机变频器装置，其特征在于：所述壳体(1)靠近进气孔(3)的内表面固定连接有支撑架(7)，所述支撑架(7)的外表面通过转轴(12)转动连接有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡天，龚胜，徐志强，
申请(专利权)人：湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：