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本实用新型属于半导体生产设备领域，公开了一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体；所述壳体的顶端开设有出气孔，所述壳体的底部开设有进气孔，所述壳体靠近出气孔与进气孔的外表面均固定连接有过滤网，所述壳体靠近出气孔的内表面固定连接有C形架，所述C...
该专利属于湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司授权不得商用。

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