【技术实现步骤摘要】
基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法
[0001]本专利技术属于气相色谱
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质谱联用
，具体是基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法。
技术介绍
[0002]气相色谱
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质谱联用是一种常用的定性和定量分析检测方式，但是在气体纯度分析检测领域，由于真空本底的干扰和气体小分子质量数的影响，质谱在1
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50amu质量数的偏差导致这一应用受限，如常见氮气、氧气和水等干扰在一定程度制约了该技术的发展。
[0003]在我司早期专利CN111239317A《特种气体中杂质的质谱检测分析装置及其方法》针对高纯磷烷砷烷等质谱检测技术进行开发，通过压力控制系统和进样系统、真空系统和四极杆检测系统，完成部分杂质定性和定量分析，对于200ppb以上杂质可以通过电子倍增管探测器检出，基于该专利，不仅对高纯磷烷砷烷等杂质气体进行监测，同时证实其对同位素含量检测也呈现精准的分析，但另一方面，基于该专利搭建的分析检测系统在自...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法，其特征在于：具体步骤如下：(S1)、在全谱扫描模式下对含杂质气体的标准样品进行测定，确定各杂质气体的特征定量及定性离子峰，建立各杂质气体的质谱库；(S2)、根据各杂质气体的特征定量及定性离子峰，在SIM模式下测定含杂质气体的标准样品，根据各杂质气体的峰面积确定含量。2.如权利要求1所述的基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法，其特征在于：所述步骤(S1)中，在全谱扫描模式测试待测电子特气样品，对微量杂质气体进行定性定量时，针对1ppb含量的微量杂质气体采用SIM模式测试待测电子特气样品，从而进行精确定量。3.如权利要求1所述的基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法，其特征在于：还包括色谱分离，所述色谱分离是通过不同的色谱柱对待测电子特气进行分离切割。4.如权利要求3所述的基于气相色谱
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质谱联用对电子特气中杂质气体检测方法，其特征在于：所述色谱分离中使用的色谱柱包括：Plot
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱颜，乔洋，陈化冰，孙建，王陆平，
申请(专利权)人：苏州南大光电材料有限公司江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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