一种可识别料片位置的取料设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可识别料片位置的取料设备，属于晶圆制造技术领域。本实用新型专利技术提供的取料设备，包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的待取料位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机构，所述升降机构用于带动所述料盒升降，所述抓取机构用于在所述料盒的所述待取料位置处抓取料片。本实用新型专利技术公开的可识别料片位置的取料设备，通过安装有探测料片位置的检测装置获取预设料片位置处的料片信息，解决了因料盒加工、组装偏差造成的夹取料片错位的问题，避免了因料盒加工或组装偏差导致的料片空置、错位等问题而造成的错误取料作业。等问题而造成的错误取料作业。等问题而造成的错误取料作业。

【技术实现步骤摘要】
一种可识别料片位置的取料设备


[0001]本技术属于晶圆制造
，尤其涉及一种可识别料片位置的取料设备。

技术介绍

[0002]随着工业生产的机械化、智能化发展，晶圆制造过程中的取放、搬运业务已实现自动化。一般的晶圆料盒中会堆叠多张晶圆，现有的晶圆取料设备是通过参考两片晶圆的设计间距以调整料盒的升降高度从而进行取料的，取料设备无法准确识别待抓取晶圆料片的具体位置，从而无法实现对料盒空盒、料片错位等问题的准确判断与识别。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术的问题，本技术实施例提供了一种可识别料片位置的取料设备。所述技术方案如下：
[0004]本技术提供了一种可识别料片位置的取料设备，所述取料设备包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的预设料片位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机构，所述升降机构用于带动所述料盒升降，所述抓取机构用于抓取所述料盒中的料片。
[0005]在一些实施例中，所述位置检测装置包括光纤传感器，所述光纤传感器通过第一安装架安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可识别料片位置的取料设备，其特征在于，所述取料设备包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的预设料片位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机构，所述升降机构用于带动所述料盒升降，所述抓取机构用于抓取所述料盒中的料片。2.根据权利要求1所述可识别料片位置的取料设备，其特征在于，所述位置检测装置包括光纤传感器，所述光纤传感器通过第一安装架安装在所述连接部上。3.根据权利要求1所述可识别料片位置的取料设备，其特征在于，所述位置检测装置包括接近传感器，所述接近传感器通过第二安装架安装在所述连接部上。4.根据权利要求1所述可识别料片位置的取料设备，其特征在于，所述抓取机构包括移栽模组及抓取部，所述移栽模组固定安装在所述基座上，所述移栽模组用于驱动所述抓取部移动以抓取所述料盒中的料片。5.根据权利要求4所述可识别料片位置的取料设备，其特征在于，所述抓取部包括夹手及驱动气缸，所述驱动气缸驱动所述夹手夹取所述料盒中的料片。6.根据权利要求4所述可识别料片...

【专利技术属性】
技术研发人员：张念，罗帅，黄阳，张洪华，王伟，张坤坤，
申请(专利权)人：苏州科韵激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：